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產(chǎn)品分類技術(shù)文章/ article
更新時(shí)間：2026-01-14 
瀏覽次數(shù)：911. 技術(shù)背景與行業(yè)挑戰(zhàn)
Asahi Diamond 在碳化硅（SiC）和氮化鎵（GaN）等第三代半導(dǎo)體材料的制造過程中，晶圓的表面研磨是一項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)。由于這些材料具有極的高的硬度，傳統(tǒng)的研磨工具往往面臨“耐用性"與“鋒利度"難以兼得的困境。
傳統(tǒng)金屬結(jié)合劑（Metal Bond）：通常耐磨性好，但容易堵塞，難以實(shí)現(xiàn)精細(xì)研磨。
傳統(tǒng)玻璃結(jié)合劑（Vitrified Bond）：自銳性好，研磨鋒利，但磨損較快，壽命相對(duì)較短。
M-cloud 系列產(chǎn)品的核心突破在于其獨(dú)特的**“超多孔質(zhì)構(gòu)造"（Ultra-porous structure）**。
結(jié)構(gòu)創(chuàng)新：通過特殊的制造工藝，該砂輪在保持金屬結(jié)合劑高結(jié)合強(qiáng)度的基礎(chǔ)上，構(gòu)建了高密度的微孔結(jié)構(gòu)。
容屑空間：這種結(jié)構(gòu)顯著增加了砂輪的容屑空間，有效抑制了研磨過程中因切屑堆積導(dǎo)致的“目詰まり"（堵塞）現(xiàn)象。
性能平衡：這一設(shè)計(jì)打破了傳統(tǒng)金屬結(jié)合劑砂輪僅適用于粗磨的局限，成功將金屬結(jié)合劑的高耐磨性與玻璃結(jié)合劑的高鋒利度結(jié)合在同一產(chǎn)品中。
M-cloud 砂輪旨在為硬脆材料提供一種高效率、長(zhǎng)壽命的研磨解決方案。
適用范圍廣：不僅適用于碳化硅（SiC）晶圓，還廣泛適用于氮化鎵（GaN）、藍(lán)寶石（Sapphire）及玻璃等材料的表面研削。
細(xì)粒度研磨：得益于其特殊的孔隙結(jié)構(gòu)，該產(chǎn)品能夠?qū)崿F(xiàn)細(xì)粒度的研磨加工，滿足半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)表面質(zhì)量的嚴(yán)苛要求。
加工穩(wěn)定性：在保持與玻璃結(jié)合劑砂輪同等切削性能的同時(shí)，其金屬結(jié)合劑的特性保證了工具在長(zhǎng)時(shí)間加工中的尺寸穩(wěn)定性，減少了修整頻率。
M-cloud 代表了精密研磨工具領(lǐng)域的一次重要技術(shù)迭代。它通過材料科學(xué)與結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的創(chuàng)新，解決了硬脆材料加工中效率與成本的平衡難題，為電子半導(dǎo)體行業(yè)的精密加工提供了新的技術(shù)選項(xiàng)。
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