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美國airmo高壓快速接頭 QD 型系列 壓力高達 60,000 psi (4,137 bar) 獲得專的利的 NuQuip ® QD 系列高壓快速斷開裝置可輕松連接和斷開設計用于工作壓力高達 60,000 psi (4,137 bar) 的工具。根據(jù)應用情況，標準端口有中壓或高壓型號。 Airmo 快速斷開器有帶閥和不帶閥兩種版本。高流量止回閥配置可最的大程度降低壓力下降。

美國 entegris 在線氣體過濾器 GTL 可靠地去除惰性氣體中的顆粒，流速高達 80 slpm。 1.提供高效、低成本的惰性氣體使用點過濾 2.去除直徑大于 0.0015 µm 的所有顆粒，去除率 99.9999999% Wafergard® GTL 在線氣體過濾器應用 1.低空氣進氣過濾器 2.潔凈干燥空氣（CDA） 3.晶圓傳送系統(tǒng)

美國 entegris 微型直列式氣體過濾器 II F 這些氣體過濾器適用于惰性氣體和活性氣體，與所有類別的半導體工藝氣體具有出色的兼容性，并且易于安裝在狹窄的氣體面板和機柜中。 1.PTFE 膜提供高效過濾 2.低壓降降低了低蒸氣壓氣體凝結的風險 3.與各類半導體工藝氣體具有出色的兼容性 4.適用于惰性氣體和活性氣體，包括臭氧

美國 entegris 在線氣體過濾器 MAX HT 適用于高溫、超純氣體應用的卓的越顆粒過濾。 1.專為高達 200°C (392°F) 的高溫 TEOS 和高 k 應用而設計 2.整體設計（148 毫米 [5.82 英寸]）是類似過濾器的直接替代品 3.緊湊的尺寸適合許多現(xiàn)有的輸送系統(tǒng)，并提供設計靈活性和多功能性 4.特殊烘烤可快速啟動氣體輸送 5.低壓差提供穩(wěn)定且更好的物料輸送

美國 entegris 在線氣體過濾器 II F Mini XL 在氣板、氣柜以及晶圓處理中需要超純氣體的任何地方進行卓的越的顆粒過濾。 1.緊湊型裝置減少了整體氣箱占地面積，節(jié)省了寶貴的設備空間 2.PTFE 膜提供高效過濾，提高產(chǎn)品產(chǎn)量 3.低壓降降低了低蒸氣壓氣體凝結的風險 4.與各類半導體工藝氣體具有出色的兼容性 5.適用于惰性氣體和活性氣體，包括臭氧

美國 entegris 在線 PTFE 氣體過濾器 MAX-1000 這些在線氣體過濾器采用 由 PFA 結構和 316L 不銹鋼外殼支撐的 PTFE 膜， 在超純氣體應用中提供 卓的越的顆粒過濾。 1.過濾面積大，過濾效率提高 3 倍，壓降低，流量大 2.與當前過濾器相同的長度尺寸允許輕松實施，而無需更改氣體面板或輸送系統(tǒng)的設計。 3.過濾器使用壽命延長，比上一代長 3 倍