日本fujifilm 小型激光干涉儀F601 

非接觸式判斷各種球形物體合格/不合格

緊湊而獨的特的對準機制使您能夠快速找到反射光，從而減少測量時間。

1.φ60mm高精度平板（玻璃、金屬、陶瓷等）的平面度測量和透射波前測量。

2.通過與光束壓縮器（2倍放大鏡頭）組合使用，甚至可以測量小物體（約φ5mm至φ25mm）。

3.如果要測量低反射率（約0.1%）的被攝體，可修改為超低反射率測量。

主要規(guī)格

光源

氦氖激光器（1類激光產品）

波長

632.8nm

格式

斐索型干涉法

有效光通量直徑

φ60mm

測量靈敏度

λ/2（0.3μm/條）

參考面精度

λ/20

放大

×1

尺寸

約300×320×590mm

日本fujifilm 小型激光干涉儀F601 

非接觸式判斷各種球形物體合格/不合格

緊湊而獨的特的對準機制使您能夠快速找到反射光，從而減少測量時間。

1.φ60mm高精度平板（玻璃、金屬、陶瓷等）的平面度測量和透射波前測量。

2.通過與光束壓縮器（2倍放大鏡頭）組合使用，甚至可以測量小物體（約φ5mm至φ25mm）。

3.如果要測量低反射率（約0.1%）的被攝體，可修改為超低反射率測量。

主要規(guī)格

光源

氦氖激光器（1類激光產品）

波長

632.8nm

格式

斐索型干涉法

有效光通量直徑

φ60mm

測量靈敏度

λ/2（0.3μm/條）

參考面精度

λ/20

放大

×1

尺寸

約300×320×590mm