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產(chǎn)品分類產(chǎn)品中心/ products

產(chǎn)品型號:美幸輝 L-I63/L-J65/L-I250
更新時間:2026-07-15簡要描述:MIYUKI 氣動真空閘閥 半導體鍍膜真空環(huán)境用 美幸輝 L-I63/L-J65/L-I250,這款產(chǎn)品是日本美幸輝(Miyuki)生產(chǎn)的L系列氣動閘閥,屬于一種用于真空環(huán)境的工業(yè)閥門。它主要用于在真空管道系統(tǒng)中控制氣體的通斷,憑借其低顆粒產(chǎn)生、高密封性和緊湊設(shè)計,廣泛適用于半導體制造、鍍膜設(shè)備等對潔凈度要求非常高的高科技行業(yè)。
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,能源,電子/電池,綜合 |

低顆粒產(chǎn)生:除了密封動作外,閥瓣(閥門開關(guān)部件)不會與閥體外殼接觸,從而減少了顆粒物的產(chǎn)生。
優(yōu)異的密封性:閥瓣采用等間距滾珠按壓式密封結(jié)構(gòu),在反向壓力下也能保持出色的密封效果。
低氣體釋放:不銹鋼閥體外殼由拋光板材通過真空釬焊制成,消除了內(nèi)部死角,降低了氣體釋放量。
輕量化設(shè)計:閥瓣采用鋁合金材質(zhì),實現(xiàn)了整體輕量化。
| 項目 | 規(guī)格 |
|---|---|
| 法蘭形式 | JIS?ISO |
| 公稱通徑 | 65A ~ 250A |
| 泄漏率 | 閥體:≤ 1×10?11 Pa·m3/s 閥座:≤ 1×10?1? Pa·m3/s 閥桿:≤ 1×10?? Pa·m3/s |
| 使用壓力范圍 | 10? ~ 10?? Pa |
| 接氣部材質(zhì) | SUS304、鋁合金 |
| 閥桿密封 | 氟橡膠O型圈(直動式) |
| 驅(qū)動方式 | 氣動驅(qū)動 |
| 工作氣壓 | 0.4 ~ 0.6 MPaG |
| 閥門開啟時允許壓差 | 3000 Pa 以下 |
| 開閉狀態(tài)顯示 | 帶磁性接近開關(guān)(可檢測開/閉位置) |
請注意:以上規(guī)格可能因產(chǎn)品改進而變更,恕不另行通知。該公司也支持特殊規(guī)格產(chǎn)品的定制。
MIYUKI 氣動真空閘閥 半導體鍍膜真空環(huán)境用 美幸輝 L-I63/L-J65/L-I250,這款產(chǎn)品是日本美幸輝(Miyuki)生產(chǎn)的L系列氣動閘閥,屬于一種用于真空環(huán)境的工業(yè)閥門。它主要用于在真空管道系統(tǒng)中控制氣體的通斷,憑借其低顆粒產(chǎn)生、高密封性和緊湊設(shè)計,廣泛適用于半導體制造、鍍膜設(shè)備等對潔凈度要求非常高的高科技行業(yè)。
MIYUKI 氣動真空閘閥 半導體鍍膜真空環(huán)境用 美幸輝 L-I63/L-J65/L-I250,這款產(chǎn)品是日本美幸輝(Miyuki)生產(chǎn)的L系列氣動閘閥,屬于一種用于真空環(huán)境的工業(yè)閥門。它主要用于在真空管道系統(tǒng)中控制氣體的通斷,憑借其低顆粒產(chǎn)生、高密封性和緊湊設(shè)計,廣泛適用于半導體制造、鍍膜設(shè)備等對潔凈度要求非常高的高科技行業(yè)。