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MIYUKI 氣動真空閘閥 半導體鍍膜真空環(huán)境用

  • 產(chǎn)品型號:美幸輝 L-I63/L-J65/L-I250
  • 更新時間:2026-07-15

簡要描述:MIYUKI 氣動真空閘閥 半導體鍍膜真空環(huán)境用 美幸輝 L-I63/L-J65/L-I250,這款產(chǎn)品是日本美幸輝(Miyuki)生產(chǎn)的L系列氣動閘閥,屬于一種用于真空環(huán)境的工業(yè)閥門。它主要用于在真空管道系統(tǒng)中控制氣體的通斷,憑借其低顆粒產(chǎn)生、高密封性和緊湊設(shè)計,廣泛適用于半導體制造、鍍膜設(shè)備等對潔凈度要求非常高的高科技行業(yè)。

產(chǎn)品詳情
品牌其他品牌產(chǎn)地類別進口
應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,化工,能源,電子/電池,綜合
這款產(chǎn)品是日本 株式會社美幸輝 (Miyuki) 生產(chǎn)的 L系列 氣動閘閥 (Air-driven Gate Valve)。它是一款專為真空環(huán)境設(shè)計的閥門,主打高性價比通用性。其設(shè)計亮點在于閥體厚度較薄,這有助于實現(xiàn)管道系統(tǒng)的緊湊化,并提升排氣性能。

MIYUKI 氣動真空閘閥 半導體鍍膜真空環(huán)境用


產(chǎn)品特點

  • 低顆粒產(chǎn)生:除了密封動作外,閥瓣(閥門開關(guān)部件)不會與閥體外殼接觸,從而減少了顆粒物的產(chǎn)生。

  • 優(yōu)異的密封性:閥瓣采用等間距滾珠按壓式密封結(jié)構(gòu),在反向壓力下也能保持出色的密封效果。

  • 低氣體釋放:不銹鋼閥體外殼由拋光板材通過真空釬焊制成,消除了內(nèi)部死角,降低了氣體釋放量。

  • 輕量化設(shè)計:閥瓣采用鋁合金材質(zhì),實現(xiàn)了整體輕量化。


產(chǎn)品規(guī)格

項目規(guī)格
法蘭形式JIS?ISO
公稱通徑65A ~ 250A
泄漏率閥體:≤ 1×10?11 Pa·m3/s
閥座:≤ 1×10?1? Pa·m3/s
閥桿:≤ 1×10?? Pa·m3/s
使用壓力范圍10? ~ 10?? Pa
接氣部材質(zhì)SUS304、鋁合金
閥桿密封氟橡膠O型圈(直動式)
驅(qū)動方式氣動驅(qū)動
工作氣壓0.4 ~ 0.6 MPaG
閥門開啟時允許壓差3000 Pa 以下
開閉狀態(tài)顯示帶磁性接近開關(guān)(可檢測開/閉位置)
請注意:以上規(guī)格可能因產(chǎn)品改進而變更,恕不另行通知。該公司也支持特殊規(guī)格產(chǎn)品的定制。


MIYUKI 氣動真空閘閥 半導體鍍膜真空環(huán)境用 美幸輝 L-I63/L-J65/L-I250,這款產(chǎn)品是日本美幸輝(Miyuki)生產(chǎn)的L系列氣動閘閥,屬于一種用于真空環(huán)境的工業(yè)閥門。它主要用于在真空管道系統(tǒng)中控制氣體的通斷,憑借其低顆粒產(chǎn)生、高密封性和緊湊設(shè)計,廣泛適用于半導體制造、鍍膜設(shè)備等對潔凈度要求非常高的高科技行業(yè)。

MIYUKI 氣動真空閘閥 半導體鍍膜真空環(huán)境用 美幸輝 L-I63/L-J65/L-I250,這款產(chǎn)品是日本美幸輝(Miyuki)生產(chǎn)的L系列氣動閘閥,屬于一種用于真空環(huán)境的工業(yè)閥門。它主要用于在真空管道系統(tǒng)中控制氣體的通斷,憑借其低顆粒產(chǎn)生、高密封性和緊湊設(shè)計,廣泛適用于半導體制造、鍍膜設(shè)備等對潔凈度要求非常高的高科技行業(yè)。



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