產(chǎn)品核心功能

• 模式靈活：支持單極與雙極兩種模式，通過(guò)前面板的三個(gè)開(kāi)關(guān)（高壓開(kāi)啟、放電、極性切換）即可輕松完成卡盤(pán)、放電、解卡操作。

• 控制多樣：既可通過(guò)前面板的模擬旋鈕進(jìn)行手動(dòng)控制，也配備了標(biāo)準(zhǔn)的外部控制和外部監(jiān)控功能，支持外部接點(diǎn)信號(hào)和模擬電壓信號(hào)控制。

• 安全保護(hù)：內(nèi)置自動(dòng)保護(hù)電路，在發(fā)生短路或過(guò)載時(shí)，電流會(huì)自動(dòng)下降并恢復(fù)，確保設(shè)備安全。

主要規(guī)格

• 輸入電壓：AC100V ±10%

• 輸出電壓：正極 0～+4kV / 負(fù)極 0～-4kV，電流均為 2mA

• 輸出穩(wěn)定性：輸入/負(fù)載變動(dòng)率 ≤±0.1%，紋波 ≤0.1%

• 監(jiān)控顯示：前面板配備兩臺(tái)可切換的數(shù)字面板表，分別顯示正/負(fù)極的電壓和電流。

• 外部接口：通過(guò)一個(gè)16P端子臺(tái)提供高壓開(kāi)啟、放電、極性切換、電壓監(jiān)控及外部電壓控制等接口。

• 高壓輸出接口：采用耐壓 DC5kV 的 SHV 連接器。

• 外形尺寸：約 W480 × H149 × D430 mm

kocho 半導(dǎo)體 晶圓基板靜電卡盤(pán)用 高壓電源 ELESL-CK01，這是一款靜電卡盤(pán)專(zhuān)用的高壓電源單元，通過(guò)產(chǎn)生高壓靜電場(chǎng)來(lái)吸附和釋放物體。它主要用于半導(dǎo)體制造、平板顯示、精密光學(xué)等行業(yè)的晶圓或玻璃基板固定、層壓處理及材料剝離等工藝。

kocho 半導(dǎo)體 晶圓基板靜電卡盤(pán)用 高壓電源 ELESL-CK01，這是一款靜電卡盤(pán)專(zhuān)用的高壓電源單元，通過(guò)產(chǎn)生高壓靜電場(chǎng)來(lái)吸附和釋放物體。它主要用于半導(dǎo)體制造、平板顯示、精密光學(xué)等行業(yè)的晶圓或玻璃基板固定、層壓處理及材料剝離等工藝。