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  • AD?TEC TXR/TXL/TXM 系列等離子高頻電源 半導(dǎo)體刻蝕工藝用
    AD?TEC TXR/TXL/TXM 系列等離子高頻電源 半導(dǎo)體刻蝕工藝用

    AD?TEC TXR/TXL/TXM 系列 等離子高頻電源 半導(dǎo)體刻蝕工藝用 覆蓋 400kHz?27.12MHz 多頻段,可實現(xiàn)等離子激發(fā),支持脈沖、電弧保護、EtherCAT 通訊。主要用于等離子清洗、刻蝕、鍍膜、表面改性工藝,適配半導(dǎo)體、光掩模、真空鍍膜等行業(yè),滿足設(shè)備自動化產(chǎn)線使用需求。

    更新時間:2026-08-19
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