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MIYUKI Mebras MG?mini485 半導(dǎo)體真空腔體壓力閉環(huán) 自動(dòng)壓力控制器 自動(dòng)壓力控制器實(shí)現(xiàn) ±0.5% 高精度真空壓力閉環(huán)調(diào)控，具備雙 PID 記憶、RS485 通訊，支持 7 臺(tái)設(shè)備組網(wǎng)聯(lián)動(dòng)，適配 GAR、BAR 閥門，兼容多款真空計(jì)信號(hào)。多用于半導(dǎo)體、真空鍍膜、工業(yè)工藝腔體行業(yè)，穩(wěn)定調(diào)節(jié)腔體壓力，保障真空工藝工況穩(wěn)定。
更新時(shí)間：2026-08-21
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