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更新時(shí)間：2023-08-23 
瀏覽次數(shù)：1464日本進(jìn)口orc 半導(dǎo)體光刻機(jī)的用途：
適用于大型板材生產(chǎn)的光刻機(jī)日本進(jìn)口orc 半導(dǎo)體光刻機(jī)特長： |
1.對(duì)應(yīng)因熱處理產(chǎn)生高翹曲基板?再布線表面扭曲基板。
2.采用最合適的方法使翹曲基板吸引搬送成為可能。
3.多點(diǎn)計(jì)測(cè)自動(dòng)調(diào)焦功能。
4.對(duì)應(yīng)板材伸縮的對(duì)位功能。
5.分割全面對(duì)位、Shot by Shot(Die by Die)對(duì)位、視野縮放功能搭載。
| 型式 | PPS-8500 |
|---|---|
| 板材尺寸 | 510 x 515mm(Max) |
| 解像力 | 2.0 µmL/S(感光材厚2.0 µm) |
| NA（開口數(shù)） | 0.16、0.1可變 |
| 縮小比 | 1:1 |
| Field尺寸 | 52mm × 33mm |
| 光刻波長 | ghi-Line gh-line i-line(與菜單連動(dòng)) |
| 視野尺寸 | 6inch |
| 重復(fù)對(duì)位精度 | ≦1.0 µm(|Ave|+3σ) |
| 裝置尺寸／重量 | （W）3,000×（D）4,800×（H）2,500mm / 11,000kg |
總結(jié)：對(duì)應(yīng)板材生產(chǎn)功能，搭載豐富的生產(chǎn)功能，
采用最合適的方法使翹曲基板吸引搬送成為可能
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