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美國(guó)Laurell ø300mm旋涂機(jī) H6-15 勞雷爾 H6-15?旋涂機(jī) 結(jié)構(gòu)緊湊，功能優(yōu)良，是安裝在手套箱中最的簡(jiǎn)單的旋涂機(jī)。 這款 650 系列HL涂布機(jī)系統(tǒng)可容納直徑最的大為ø 300mm 的晶圓和 9“ × 9“ (229mm × 229mm) 的基板，最的大轉(zhuǎn)速為12,000 RPM（基于ø 100mm 硅晶圓）。
更新時(shí)間：2026-06-25
美國(guó)Laurell ø200mm旋涂機(jī)WS-650-8B Laurell WS- 650-8 B 旋涂機(jī) 結(jié)構(gòu)緊湊，功能優(yōu)良。 這款 650 系列涂布機(jī)系統(tǒng)可容納直徑達(dá)ø 200 毫米的晶圓和 7 英寸 × 7 英寸 (178 毫米 × 178 毫米) 的基板，最大轉(zhuǎn)速為12,000 RPM（基于直徑ø 100 毫米的硅晶圓）。
更新時(shí)間：2026-06-25
美國(guó)Laurell ø150mm旋涂機(jī)H6-23 勞雷爾 H6-23?旋涂機(jī) 結(jié)構(gòu)緊湊，功能優(yōu)良，是安裝在手套箱中最的簡(jiǎn)單的旋涂機(jī)。 這款 650 系列HL涂布機(jī)系統(tǒng)可容納直徑達(dá)ø 150mm 的晶圓和 5“ × 5“ (127mm × 127mm) 的基板，最的大轉(zhuǎn)速為12,000 RPM（基于ø 100mm 硅晶圓）。
更新時(shí)間：2026-06-25
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