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產(chǎn)品分類產(chǎn)品中心/ products
產(chǎn)品型號(hào)：H6-15
更新時(shí)間：2026-07-16簡(jiǎn)要描述：Laurell 手套箱用緊湊型旋涂機(jī) 300mm晶圓用l H6-15 是一款專為手套箱環(huán)境設(shè)計(jì)的緊湊型旋涂機(jī)，用于在半導(dǎo)體、生物技術(shù)和納米技術(shù)行業(yè)進(jìn)行薄膜涂覆、蝕刻、顯影、沖洗干燥和清潔等精密工藝。
| 品牌 | 其他品牌 |
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緊湊設(shè)計(jì)：專為在手套箱內(nèi)安裝而優(yōu)化。
先進(jìn)控制：配備無(wú)線平板電腦和 Laurell Touch 過(guò)程控制軟件，支持實(shí)時(shí)交互和遠(yuǎn)程操作。
高轉(zhuǎn)速：最高轉(zhuǎn)速可達(dá) 12,000 RPM（基于 ?100mm 硅片）。
大尺寸兼容：可處理最大 ?300mm 的晶圓和 9" × 9" (229mm × 229mm) 的基板。
卓的越的防護(hù)：采用專的利的迷宮式密封，保護(hù)電機(jī)和控制電子元件免受化學(xué)污染，并提供氮?dú)獯祾摺?/span>
最大轉(zhuǎn)速：12,000 RPM
最大基板尺寸：?300mm 晶圓或 9" × 9" 基板
控制系統(tǒng)：無(wú)線平板電腦，搭載 Laurell Touch 軟件
電源要求：95 至 240VAC, 47/63HZ, ~300 瓦
氣體要求：60–70 PSIG (4–5 bar) 的氮?dú)饣驖崈舾稍锟諝?(CDA)
真空要求：25–28 英寸汞柱 (約 635–711mm Hg)
卡盤和適配器：提供多種標(biāo)準(zhǔn)和定制選項(xiàng)。
抗震安裝：提供抗震底座安裝選項(xiàng)。
高性能驅(qū)動(dòng)：可實(shí)現(xiàn)最高 12,000 RPM 的轉(zhuǎn)速。
集成真空發(fā)生器：無(wú)活動(dòng)部件，易于清潔。
排氣和排水選項(xiàng)：可根據(jù)需求定制。
晶圓對(duì)準(zhǔn)工具：用于輕松將晶圓居中放置在真空卡盤上。
特氟龍外殼：適用于需要在高溫下進(jìn)行化學(xué)處理的應(yīng)用。
多重認(rèn)證：通過(guò) ETL、UL、CSA、CE 和 RoHS 認(rèn)證。
安全聯(lián)鎖：具備 fool-proof 門聯(lián)鎖，在真空未啟動(dòng)或蓋子打開(kāi)時(shí)防止旋轉(zhuǎn)。
過(guò)程保護(hù)：具備“過(guò)程保護(hù)"功能，可防止在同一基板上意外重復(fù)運(yùn)行相同過(guò)程。
涂覆 (Coating)
蝕刻 (Etching)
顯影 (Developing)
沖洗-干燥 (Rinsing-Drying)
清潔 (Cleaning)
Laurell 手套箱用緊湊型旋涂機(jī) 300mm晶圓用l H6-15 是一款專為手套箱環(huán)境設(shè)計(jì)的緊湊型旋涂機(jī)，用于在半導(dǎo)體、生物技術(shù)和納米技術(shù)行業(yè)進(jìn)行薄膜涂覆、蝕刻、顯影、沖洗干燥和清潔等精密工藝。
Laurell 手套箱用緊湊型旋涂機(jī) 300mm晶圓用l H6-15 是一款專為手套箱環(huán)境設(shè)計(jì)的緊湊型旋涂機(jī)，用于在半導(dǎo)體、生物技術(shù)和納米技術(shù)行業(yè)進(jìn)行薄膜涂覆、蝕刻、顯影、沖洗干燥和清潔等精密工藝。
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