歡迎光臨深圳九州工業(yè)品有限公司！
咨詢電話
13691609757
13691609757
products
產(chǎn)品分類產(chǎn)品中心/ products
產(chǎn)品型號(hào)：H6-23
更新時(shí)間：2026-07-16簡(jiǎn)要描述：Laurell 150mm晶圓 手套箱專用緊湊型旋涂?jī)x H6-23是一款專為手套箱環(huán)境設(shè)計(jì)的緊湊型旋涂?jī)x，主要用于在半導(dǎo)體、生物技術(shù)和納米技術(shù)行業(yè)進(jìn)行涂覆、蝕刻、顯影、沖洗干燥和清潔等工藝。其設(shè)計(jì)能耐受溶劑、強(qiáng)酸和強(qiáng)堿，確保在受控環(huán)境中實(shí)現(xiàn)精確的材料處理。
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,能源,電子/電池,綜合 |
緊湊設(shè)計(jì)：專為在手套箱內(nèi)輕松安裝而設(shè)計(jì)。
先進(jìn)控制：配備無(wú)線平板電腦和專屬的 Laurell Touch 過(guò)程控制軟件，支持實(shí)時(shí)交互和遠(yuǎn)程操作。
高轉(zhuǎn)速：最高轉(zhuǎn)速可達(dá) 12,000 RPM（基于 ?100mm 硅片）。
安全密封：采用專的利的迷宮式密封，保護(hù)電機(jī)和控制電子元件免受化學(xué)污染，并可為工藝腔室提供氮?dú)獯祾摺?/span>
基底尺寸：可容納最大 ?150mm 的晶圓和 5" × 5" (127mm × 127mm) 的基板。
控制系統(tǒng)：標(biāo)配無(wú)線平板控制器，也可選配 PC 端的 Spin 3000 軟件進(jìn)行更復(fù)雜的過(guò)程管理和模擬。
外殼材質(zhì)：通常采用 Laurell 自家的耐溶劑、耐強(qiáng)酸堿的共聚物混合物制成。也可選配 PTFE 或 Teflon® 外殼，適用于高溫化學(xué)工藝。
卡盤和適配器：提供多種標(biāo)準(zhǔn)和定制選項(xiàng)。
抗震安裝：具備抗震底座安裝功能。
內(nèi)襯：標(biāo)配可拆卸、可重復(fù)使用的 FEP Teflon® 工藝腔室內(nèi)襯。
高性能驅(qū)動(dòng)：可選配以實(shí)現(xiàn)更高轉(zhuǎn)速。
集成真空發(fā)生器：無(wú)運(yùn)動(dòng)部件，易于清潔。
排氣和排液選項(xiàng)：可根據(jù)需求定制。
晶圓對(duì)準(zhǔn)工具：用于輕松將晶圓在真空卡盤上居中。
涂覆 (Coating)
蝕刻 (Etching)
顯影 (Developing)
沖洗干燥 (Rinsing-Drying)
清潔 (Cleaning
Laurell 150mm晶圓 手套箱專用緊湊型旋涂?jī)x H6-23是一款專為手套箱環(huán)境設(shè)計(jì)的緊湊型旋涂?jī)x，主要用于在半導(dǎo)體、生物技術(shù)和納米技術(shù)行業(yè)進(jìn)行涂覆、蝕刻、顯影、沖洗干燥和清潔等工藝。其設(shè)計(jì)能耐受溶劑、強(qiáng)酸和強(qiáng)堿，確保在受控環(huán)境中實(shí)現(xiàn)精確的材料處理。
Laurell 150mm晶圓 手套箱專用緊湊型旋涂?jī)x H6-23是一款專為手套箱環(huán)境設(shè)計(jì)的緊湊型旋涂?jī)x，主要用于在半導(dǎo)體、生物技術(shù)和納米技術(shù)行業(yè)進(jìn)行涂覆、蝕刻、顯影、沖洗干燥和清潔等工藝。其設(shè)計(jì)能耐受溶劑、強(qiáng)酸和強(qiáng)堿，確保在受控環(huán)境中實(shí)現(xiàn)精確的材料處理。
您的位置：
在線咨詢
返回頂部