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lintec-mfc/MC-7000系列特征？

更新時(shí)間：2023-11-18      瀏覽次數(shù)：890

快速響應(yīng)質(zhì)量流量控制器

響應(yīng)時(shí)間200毫秒的超高速質(zhì)量流量控制器。

使用熱傳感器實(shí)現(xiàn) 100 毫秒（典型值）的高速流量控制。琳得科的非接觸式熱流量傳感器和壓電控制閥可實(shí)現(xiàn)腐蝕性氣體的超高速流量控制。

±1.0% SP的高精度流量精度，數(shù)字通信方式可選擇DeviceNet和EtherCAT。

特征

  • 超高速流量控制200msec

  • 精度±1%SP

  • 工作溫度5-50℃

  • 金屬密封

  • 清潔（保證顆粒）

  • 環(huán)境溫度補(bǔ)償傳感器

  • EtherCAT通訊

  • DeviceNet™ 通信

使用示例

快速蝕刻工藝

在半導(dǎo)體制造工藝中，需要在小型化的同時(shí)提高產(chǎn)量。即使對(duì)于控制反應(yīng)氣體流量的質(zhì)量流量控制器，對(duì)更短的流量控制啟動(dòng)（上升）時(shí)間的需求也在不斷增加。超高速質(zhì)量流量控制器[MC-7000]是流量傳感器與流量測(cè)量氣體不接觸的非接觸式熱式流量傳感器，實(shí)現(xiàn)了200℃的超高速響應(yīng)。毫秒。由于是非接觸式，因此可以在測(cè)量腐蝕性氣體的流量時(shí)進(jìn)行高速流量控制。

規(guī)格表


溫度最小壓差最大壓差準(zhǔn)確性控制范圍最小滿量程最大滿量程貼紙
5~50℃50kPa300kPa±1%SP2~100%滿量程5SCCM20SLM金



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