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產(chǎn)品分類
更新時間：2023-12-11 
瀏覽次數(shù)：787自動化晶圓處理 > 晶圓搬運(yùn) > 低接觸全自動晶圓傳輸機(jī) - LCT1AS12
產(chǎn)品
描述
桌上型自動高性能水平晶圓轉(zhuǎn)移工具。先進(jìn)的低接觸晶圓傳輸機(jī)可提供最潔凈、可靠和快速的標(biāo)準(zhǔn)晶圓和易碎晶圓傳輸方式。
堅固的結(jié)構(gòu)設(shè)計提供高可靠性和低維護(hù)成本，小體積的設(shè)計節(jié)省寶貴的潔凈室空間。LCT1AS12兼容所有業(yè)界標(biāo)準(zhǔn)的FOUP、FOSB和SEMI標(biāo)準(zhǔn)金屬和塑料開放式料盒。
LCT1AS12 特性：
觸摸屏控制
FOUP 轉(zhuǎn) FOSB
交叉槽、晶圓重疊和晶圓存在的傳感器映射檢查
PVDF 涂層桿
一次傳輸 25 個晶圓
規(guī)格
晶圓尺寸300
電源要求220VAC 至 24VDC 3 安培 電源單獨(dú)出售
吞吐量每小時 60 盒
重量75 磅
附加信息
裝運(yùn)重量165磅
裝運(yùn)尺寸19 × 35 × 20 英寸
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