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sonosys潛水式換能器介紹?

更新時間:2024-03-15      瀏覽次數(shù):767

潛水式換能器

使用潛水換能器 400 kHz+600 kHz/1 MHz+2 MHz,可靈活且經(jīng)濟高效地進行改造

由不銹鋼或塑料(例如:PVDF或PFA)制成的封裝換能器,安裝在現(xiàn)有水槽的底部或側(cè)壁。除了4英寸、6英寸和8英寸基板的標準系統(tǒng)外,還提供定制的解決方案。
這一靈活的配置允許一個方便的改裝與兆聲系統(tǒng)在現(xiàn)有水槽。
在世界各地,SONOSYS®代表的未來安方案。這尤其適用于頻率為400 kHz/600 kHz/1 MHz和2 MHz的Megasonic系統(tǒng)。
極為均勻的能量傳輸確保了迄今為止未達到的清潔性能,同時為微結(jié)構(gòu)提供了保護。世界上的:我們的換能器系統(tǒng),擁有正在申請的壓電陶瓷,可以實現(xiàn)40%以上的聲壓或高達30%的效率。

應(yīng)用:
基板、半導(dǎo)體晶圓、微零件和微系統(tǒng)(MEMS)的清潔,最大可達200毫米,光致抗蝕劑在LIGA內(nèi)的去除技術(shù),以及蝕刻工藝。


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