面向半導(dǎo)體精密制造：SONOSYS 兆聲波單/雙/三噴嘴的非接觸式清洗方案

更新時間：2026-07-16

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在半導(dǎo)體、平板顯示及精密光學(xué)等高的端的制造領(lǐng)域，對產(chǎn)品表面潔凈度的要求已逼近物理極限。任何納米級的顆?；蛭廴疚锒伎赡軐?dǎo)致良率下降甚至產(chǎn)品失效。如何在不損傷精密基片的前提下，實現(xiàn)高效、精準(zhǔn)的清洗，成為行業(yè)面臨的核心挑戰(zhàn)。SONOSYS® 憑借其專有的兆聲波技術(shù)，為這一難題提供了創(chuàng)新的解決方案——兆聲波單/雙/三噴嘴系統(tǒng)。該系統(tǒng)代表了先進(jìn)的無槽式、非接觸清洗工藝，專為滿足最嚴(yán)苛的潔凈度要求而設(shè)計。

面向半導(dǎo)體精密制造：SONOSYS 兆聲波單/雙/三噴嘴的非接觸式清洗方案

核心技術(shù)：能量高度集中的非接觸清洗

SONOSYS® 兆聲波噴嘴系統(tǒng)的核心在于其獨特的能量傳遞方式。系統(tǒng)內(nèi)置的換能器會產(chǎn)生高頻兆聲波，這些聲波通過流動的液體（如去離子水）作為介質(zhì)，被精確地傳導(dǎo)至基片表面。

與傳統(tǒng)清洗方式不同，該技術(shù)能將兆聲波能量高度集中在一個直徑僅為 2 或 4 毫米的微小作用點上。這種“點對點"的精準(zhǔn)清洗模式，不僅避免了清洗槽可能帶來的交叉污染，更實現(xiàn)了對特定區(qū)域的靶向清潔，確保了清洗過程的高效與可控。

產(chǎn)品系列：覆蓋多場景的頻率選擇

為應(yīng)對不同尺寸顆粒和多樣化的應(yīng)用需求，SONOSYS® 提供了豐富的產(chǎn)品頻率選擇，確保為特定工藝匹配最的優(yōu)的解。

標(biāo)準(zhǔn)高頻系列：1 MHz / 2 MHz / 3 MHz / 4 MHz / 5 MHz，適用于清除納米級別的微小顆粒和污染物。
全新低頻選項：600 kHz，專為清洗光學(xué)行業(yè)等領(lǐng)域中尺寸相對較大的顆粒而設(shè)計，擴(kuò)展了技術(shù)的應(yīng)用邊界。

此外，系統(tǒng)提供單噴嘴、雙噴嘴及三噴嘴等多種配置，可根據(jù)產(chǎn)線節(jié)拍和清洗面積靈活部署，最的大的化生產(chǎn)效率。

應(yīng)用領(lǐng)域：賦能高精尖產(chǎn)業(yè)

憑借其卓的越的清洗性能，SONOSYS® 兆聲波噴嘴系統(tǒng)已廣泛應(yīng)用于對潔凈度有極的致的追求的多個行業(yè)：

半導(dǎo)體與微電子：單晶圓（Single Wafers）、光罩（Masks）、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）的精密清洗。
平板顯示：液晶顯示器（LCD）及其他各類基板的清洗。
光學(xué)行業(yè)：利用 600 kHz 頻率有效清除光學(xué)元件表面的較大顆粒污染物。
醫(yī)療器械：高價值醫(yī)療設(shè)備及高靈敏度傳感器的精密清洗。

關(guān)于 SONOSYS

SONOSYS® 專注于 400 kHz 至 5 MHz 高頻段的超聲波及兆聲波清洗技術(shù)，致力于解決納米級的清洗挑戰(zhàn)。自1995年成立以來，公司堅持全鏈條自主研發(fā)，產(chǎn)品覆蓋從發(fā)生器、采用專的利的壓電陶瓷的換能器板到浸沒式換能器及各類噴嘴，已發(fā)展成為歐洲兆聲波技術(shù)的領(lǐng)的軍的企業(yè)。

深圳九州工業(yè)品有限公司成立于2016年，坐落于年輕奮進(jìn)的深圳市，是一家工業(yè)品綜合服務(wù)商。主要包括機(jī)電設(shè)備、電子產(chǎn)品、儀器儀表、工業(yè)器材的銷售及其它國內(nèi)貿(mào)易、經(jīng)營進(jìn)出口等業(yè)務(wù)。聯(lián)合國際名品牌搭建工業(yè)品供應(yīng)鏈，采用與 MRO分銷商結(jié)盟的方式，把零散采購訂單集中處理，流程簡化，提供一站式供應(yīng)服務(wù)。在美國、德國、日本、韓國、中國臺灣建立采購中心，一的流的專業(yè)各區(qū)域采購團(tuán)隊、技術(shù)顧問、銷售團(tuán)隊為各種領(lǐng)域提供各類高品質(zhì)的工業(yè)產(chǎn)品和優(yōu)質(zhì)的整合服務(wù)。通過與廠家建立快捷、有效的溝通，和眾多國外生產(chǎn)廠家建立了長久合作伙伴關(guān)系。

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核心技術(shù)：能量高度集中的非接觸清洗

產(chǎn)品系列：覆蓋多場景的頻率選擇

應(yīng)用領(lǐng)域：賦能高精尖產(chǎn)業(yè)

關(guān)于 SONOSYS

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