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更新時(shí)間：2026-01-07 
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eFLOW Series采用DIC自主研發(fā)的“中空絲氣液透過(guò)膜"技術(shù)，通過(guò)向超純水（DIW）中溶解二氧化碳（CO2）氣體，調(diào)節(jié)水的比電阻值，從而防止靜電引發(fā)的“灰塵再附著"及“靜電破壞"。
工作原理：超純水在中空絲膜內(nèi)部流動(dòng)，外部通入CO2氣體。氣體透過(guò)膜壁溶解于水中并離子化，賦予水導(dǎo)電性以消除靜電。
優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)：
結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，故障率低。
采用獨(dú)特的管道分配方式，比電阻值控制簡(jiǎn)便且穩(wěn)定性高。
碳酸氣體給氣模塊壽命長(zhǎng)（自社制造，提供5年保修）。
Panel Mount Type（P系列）：符合IEA（美國(guó)電子工業(yè)）標(biāo)準(zhǔn)機(jī)架安裝規(guī)范。1AP為全清潔規(guī)格標(biāo)準(zhǔn)機(jī)，2AP可選全清潔規(guī)格。
Cabinet Type（C系列）：配備可容納2瓶CO2鋼瓶的機(jī)柜，內(nèi)置比電阻傳感器，可直接連接使用點(diǎn)配管。
模塊配置：1AP/1AC搭載1個(gè)模塊；2AP/2AC及3AP/3AC搭載2個(gè)模塊。
| 產(chǎn)品型號(hào) | 處理流量范圍 (L/min) | 模塊配置 |
|---|---|---|
| eFLOW 1AP-B02 / 1AC-P201 | 1 – 16 | 1 module |
| eFLOW 2AP-B01 / 2AC-P201 | 5 – 30 | 2 modules |
| eFLOW 3AP-B01 / 3AC-P201 | 10 – 50 | 2 modules |
主要用于半導(dǎo)體制造及清洗過(guò)程，包括但不限于：
光罩、光刻膠的清洗。
洗滌塔（Scrubber）清洗。
高壓噴射清洗。
切割（Dicing）工程清洗。
電池清洗。
提供多種定制化選項(xiàng)，包括：
清潔規(guī)格（流量至30L/min）。
低比電阻類型。
小型及電氣分離類型。
大流量（100 L/min）類型。
該裝置通過(guò)獨(dú)的特的膜技術(shù)有效解決了超純水清洗中的靜電問(wèn)題，其模塊化設(shè)計(jì)和長(zhǎng)壽命保障為半導(dǎo)體制造提供了穩(wěn)定且經(jīng)濟(jì)的解決方案。
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