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山田光學(xué)工業(yè) YPI-150ID/YP-250I 晶圓缺陷光學(xué)檢測(cè)設(shè)備

更新時(shí)間：2026-04-10

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山田光學(xué)工業(yè)（YAMADA）推出的YPI-150ID與YP-250I，是應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的高亮度鹵素光源檢測(cè)裝置，核心用于晶圓、液晶面板等精密元件的表面宏觀缺陷目視檢查，為半導(dǎo)體制程中的品質(zhì)管控提供關(guān)鍵光學(xué)照明支持。

一、產(chǎn)品定位與核心用途

兩款設(shè)備同屬山田光學(xué)高亮度鹵素光源檢測(cè)系列，定位為人工目視檢測(cè)的輔助照明設(shè)備，非全自動(dòng)缺陷檢測(cè)系統(tǒng)。主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓（硅片、砷化鎵、碳化硅等）、光掩膜、液晶基板等精密表面的制程后檢查，可高效識(shí)別表面異物、微劃痕、拋光不均、霧狀缺陷、滑移線等微觀瑕疵。

二、核心技術(shù)特性

1. 超高亮度照明

峰值照度：≥400,000 勒克斯（Lux），遠(yuǎn)超常規(guī) LED 檢測(cè)光源。
光源類型：3400K 高色溫鹵素?zé)?/span>，光譜連續(xù)、顯色性佳（Ra≈100），可清晰呈現(xiàn) 0.2 微米級(jí)細(xì)微缺陷。
照明均勻性：經(jīng)精密光學(xué)系統(tǒng)優(yōu)化，照射區(qū)域光場(chǎng)分布均勻，無(wú)中心亮斑、邊緣衰減問(wèn)題。

2. 低熱輻射冷鏡技術(shù)

采用冷反射鏡設(shè)計(jì)，樣品熱輻射影響降至傳統(tǒng)鋁鏡的1/3。
有效抑制紅外熱量傳遞，避免晶圓等熱敏材料受熱變形、損傷，支持長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)檢測(cè)。

3. 雙檔照度切換

內(nèi)置高 / 低兩檔照度一鍵切換機(jī)構(gòu)：

高照度模式：用于細(xì)微缺陷精檢、定位。
低照度模式：用于快速全域初檢、外觀瀏覽。

三、型號(hào)規(guī)格差異（YPI-150ID vs YP-250I）

參數(shù)	YPI-150ID	YP-250I
有效照明直徑	φ30mm	φ60mm
適配晶圓尺寸	6 英寸及以下	8 英寸及以下
冷卻方式	自然冷卻	強(qiáng)制風(fēng)扇冷卻（螺旋槳 / 管道風(fēng)機(jī)可選）
功耗	約 200W	約 350W
外形尺寸	140(W)×94(H)×185(D)mm	135(W)×72(H)×260(D)mm

四、適用場(chǎng)景與優(yōu)勢(shì)

半導(dǎo)體晶圓制程：拋光、清洗、鍍膜后表面質(zhì)量抽檢，定位納米級(jí)劃痕、殘留、顆粒污染。
光掩膜 / 基板檢測(cè)：掩膜版、玻璃基板表面缺陷目視確認(rèn)。
精密元件檢查：適配對(duì)熱敏感、高平整度要求的光學(xué)元件、磁性材料表面檢測(cè)。

五、設(shè)備核心價(jià)值

高亮度：突破常規(guī)光源亮度極限，讓微米級(jí)缺陷肉眼可見(jiàn)。
低損傷：冷鏡控溫，保護(hù)晶圓等精密材料表面。
高效率：雙檔切換、大 / 小光斑覆蓋，適配不同尺寸與檢測(cè)節(jié)奏。
穩(wěn)定性：工業(yè)級(jí)設(shè)計(jì)，適配潔凈室 0–40℃環(huán)境連續(xù)作業(yè)。

綜上，山田光學(xué) YPI-150ID/YP-250I 以高照度、低熱輻射、高均勻性為核心優(yōu)勢(shì)，是半導(dǎo)體、顯示面板行業(yè)人工宏觀缺陷檢測(cè)環(huán)節(jié)的標(biāo)準(zhǔn)照明輔助設(shè)備，服務(wù)于精密元件的表面品質(zhì)管控流程。

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