日本Orion半導(dǎo)體濕法水冷型藥液用溫度調(diào)節(jié)機(jī)ETN23A-N介紹

更新時(shí)間：2026-05-11

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日本オリオン機(jī)械株式會(huì)社（Orion Machinery Co., Ltd.）生產(chǎn)的“藥液用溫度調(diào)節(jié)機(jī) Chemical Peltatherm（水冷型）"該設(shè)備主要用于半導(dǎo)體濕法工藝中對(duì)藥液進(jìn)行高精度溫度控制。

以下是該產(chǎn)品的詳細(xì)總結(jié)：

產(chǎn)品概述

產(chǎn)品名稱：藥液用溫度調(diào)節(jié)機(jī) Chemical Peltatherm（水冷型）
產(chǎn)品系列：ETD（電源單元）與 ETN（冷熱單元）系列
核心功能：直接對(duì)濕法工藝中的藥液進(jìn)行高精度溫度調(diào)節(jié)。
主要特點(diǎn)：

接液部采用全特氟龍（Teflon/PTFE/PFA）熱交換器，耐腐蝕性強(qiáng)。
業(yè)界最輕量、緊湊設(shè)計(jì)。
采用專用開(kāi)關(guān)電源。

核心規(guī)格參數(shù)

該設(shè)備由“電源單元"和“冷熱單元"組成一套系統(tǒng)，具體參數(shù)如下表所示：

1. 冷熱單元 (ETN Series) 性能參數(shù)

項(xiàng)目	規(guī)格詳情
對(duì)應(yīng)藥液	DIW, DHF, BHF, FPM, SC1 (根據(jù)濃度及未列明藥液需咨詢)
溫度控制范圍	15～50℃ (50℃以上需咨詢)
控制精度	±0.1℃ (視條件而定)
冷卻/加熱能力	ETN23A-N: ~280W / ~600W ETN45A-N: ~460W / ~1,000W ETN90A-N: ~920W / ~2,000W
散熱方式	水冷式
藥液側(cè)耐壓	0.3 MPa
藥液側(cè)材質(zhì)	PTFA, New PFA

2. 電源單元 (ETD Series) 規(guī)格

電源要求：?jiǎn)蜗?200～240V (50/60Hz)
控制方式：PID控制 + 自動(dòng)調(diào)諧 (Auto-tuning)
型號(hào)對(duì)應(yīng)：

ETD232-SA-A-G2 (對(duì)應(yīng) ETN23A-N)
ETD452-SA-G2 (對(duì)應(yīng) ETN45A-N)
ETD832-SA-G2 (對(duì)應(yīng) ETN90A-N)

外形尺寸與重量

單元類型	型號(hào)	重量 (約)	外形尺寸 (高×奧行×寬 mm)
冷熱單元	ETN23A-N	10 kg	220 × 330 × 147
	ETN45A-N	14 kg	220 × 330 × 147
	ETN90A-N	28.5 kg	260 × 530 × 145
電源單元	ETD232	5.0 kg	165 × 430 × 140
	ETD452	10 kg	215 × 460 × 165
	ETD832	18 kg	305 × 470 × 240

其他特性

溫度傳感器：標(biāo)配 Pt100 (JIS 0.2級(jí)) ，可選特氟龍模制傳感器。
環(huán)境要求：使用周圍溫度范圍為 15～35℃。
特殊選項(xiàng)：

可內(nèi)置控制用溫度傳感器（特制對(duì)應(yīng)）。
提供連接電纜的延長(zhǎng)線選項(xiàng)。

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