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日本Orion半導(dǎo)體濕法水冷型藥液用溫度調(diào)節(jié)機(jī)ETN23A-N介紹

更新時間:2026-05-11      瀏覽次數(shù):177
日本オリオン機(jī)械株式會社(Orion Machinery Co., Ltd.)生產(chǎn)的“藥液用溫度調(diào)節(jié)機(jī) Chemical Peltatherm(水冷型)"該設(shè)備主要用于半導(dǎo)體濕法工藝中對藥液進(jìn)行高精度溫度控制。

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以下是該產(chǎn)品的詳細(xì)總結(jié):

產(chǎn)品概述

  • 產(chǎn)品名稱:藥液用溫度調(diào)節(jié)機(jī) Chemical Peltatherm(水冷型)

  • 產(chǎn)品系列:ETD(電源單元)與 ETN(冷熱單元)系列

  • 核心功能:直接對濕法工藝中的藥液進(jìn)行高精度溫度調(diào)節(jié)。

  • 主要特點

    • 接液部采用全特氟龍(Teflon/PTFE/PFA)熱交換器,耐腐蝕性強(qiáng)。

    • 業(yè)界最輕量、緊湊設(shè)計。

    • 采用專用開關(guān)電源。

核心規(guī)格參數(shù)

該設(shè)備由“電源單元"和“冷熱單元"組成一套系統(tǒng),具體參數(shù)如下表所示:

1. 冷熱單元 (ETN Series) 性能參數(shù)

項目規(guī)格詳情
對應(yīng)藥液DIW, DHF, BHF, FPM, SC1 (根據(jù)濃度及未列明藥液需咨詢)
溫度控制范圍15~50℃ (50℃以上需咨詢)
控制精度±0.1℃ (視條件而定)
冷卻/加熱能力ETN23A-N: ~280W / ~600W
ETN45A-N: ~460W / ~1,000W
ETN90A-N: ~920W / ~2,000W
散熱方式水冷式
藥液側(cè)耐壓0.3 MPa
藥液側(cè)材質(zhì)PTFA, New PFA

2. 電源單元 (ETD Series) 規(guī)格

  • 電源要求:單相 200~240V (50/60Hz)

  • 控制方式:PID控制 + 自動調(diào)諧 (Auto-tuning)

  • 型號對應(yīng)

    • ETD232-SA-A-G2 (對應(yīng) ETN23A-N)

    • ETD452-SA-G2 (對應(yīng) ETN45A-N)

    • ETD832-SA-G2 (對應(yīng) ETN90A-N)

外形尺寸與重量

單元類型型號重量 (約)外形尺寸 (高×奧行×寬 mm)
冷熱單元ETN23A-N10 kg220 × 330 × 147

ETN45A-N14 kg220 × 330 × 147

ETN90A-N28.5 kg260 × 530 × 145
電源單元ETD2325.0 kg165 × 430 × 140

ETD45210 kg215 × 460 × 165

ETD83218 kg305 × 470 × 240

其他特性

  • 溫度傳感器:標(biāo)配 Pt100 (JIS 0.2級) ,可選特氟龍模制傳感器。

  • 環(huán)境要求:使用周圍溫度范圍為 15~35℃。

  • 特殊選項

    • 可內(nèi)置控制用溫度傳感器(特制對應(yīng))。

    • 提供連接電纜的延長線選項。



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