MEIRITZ 主動隔振防振臺精密測量半導體用

產品型號：MiX-330 / MiX-520
更新時間：2026-07-21

簡要描述：MEIRITZ 主動隔振防振臺精密測量半導體用 MiX系列是一款高的端的主動式隔振系統(tǒng)，專為精密儀器提供穩(wěn)定平臺。它通過平衡隔振與制振性能，提升測量和加工的效率與精度。主要應用于計測計量、半導體制造及精密加工等領域。

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產品詳情

品牌	其他品牌	產地類別	進口
應用領域	化工,電子/電池,綜合,半導體

MiX系列是明立精機推出的高的端的主動式隔振系統(tǒng)，專為高精度儀器打造。它最大的亮點在于解決了傳統(tǒng)隔振系統(tǒng)難以同時兼顧“隔離外部振動"和“抑制自身晃動"的難題。通過其水平位移抑制機構和水平剛性強化的設計，MiX系列實現(xiàn)了兩大核心優(yōu)勢：

卓的越的隔振性能：有效隔離來自地面和周邊環(huán)境的振動，例如將10Hz的振動衰減至-40dB，對1Hz起的低頻微振動（如人員走動）也有顯著抑制效果。
壓倒性的制振性能：大幅縮短了“穩(wěn)定時間"（Settling Time）。這意味著儀器在完成移動等動作后，能更快地恢復穩(wěn)定，進入可測量或加工的狀態(tài)，從而提升整體生產效率。

MEIRITZ 主動隔振防振臺精密測量半導體用

主要應用領域

計測?計量機器
半導體制造?精密加工

型號選擇：三種類型，按需定制

為了滿足不同場景的需求，MiX系列提供了三種配置。

型號類型	性能側重	適用場景
S型	隔振性能	側重隔離外部環(huán)境振動干擾
M型	平衡性能	在隔振與制振之間取得平衡
H型	制振性能	側重快速抑制儀器自身動作產生的晃動

請注意：MiX-330和MiX-520這兩個型號不提供S型配置。

詳細規(guī)格參數(shù)表

以下是MiX系列各型號的詳細規(guī)格。

項目	MiX-330	MiX-520	MiX-650	MiX-870	MiX-1080
定盤尺寸 (mm)	300 × 300	500 × 200	600 × 500	800 × 700	1000 × 800
有效載荷 (kg)	50	100	200	300	500
外形尺寸 (mm)	360 × 360	560 × 260	660 × 560	860 × 760	1060 × 860
高度 (mm)	700	700	700	700	700
水平固有頻率 (Hz)	0.5～1.0	0.5～1.0	0.5～1.0	0.5～1.0	0.5～1.0
垂直固有頻率 (Hz)	1.0～2.0	1.0～2.0	1.0～2.0	1.0～2.0	1.0～2.0

其他特點

標配振動監(jiān)測App：系統(tǒng)內置振動環(huán)境監(jiān)測應用，可以記錄振動歷史，并直觀地顯示VC等級，方便用戶隨時掌握環(huán)境狀態(tài)。

MEIRITZ 主動隔振防振臺精密測量半導體用 MiX系列是一款高的端的主動式隔振系統(tǒng)，專為精密儀器提供穩(wěn)定平臺。它通過平衡隔振與制振性能，提升測量和加工的效率與精度。主要應用于計測計量、半導體制造及精密加工等領域。

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MEIRITZ 主動隔振防振臺 精密測量半導體用

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型號選擇：三種類型，按需定制