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MEIRITZ顯微鏡/納米表面分析 6自由度隔振臺(tái)

  • 產(chǎn)品型號(hào):ME-0405/0506/0806D/1007D
  • 更新時(shí)間:2026-07-09

簡(jiǎn)要描述:MEIRITZ顯微鏡/納米表面分析 6自由度隔振臺(tái)ME-0405/0506/0806D/1007D 該產(chǎn)品主要用于消除微小環(huán)境振動(dòng),為精密儀器提供高穩(wěn)定度的操作環(huán)境。廣泛適用于納米科技、半導(dǎo)體制造、精密光學(xué)測(cè)量、電子顯微鏡及生物醫(yī)療等對(duì)振動(dòng)極其敏感的頂端行業(yè)。

產(chǎn)品詳情
品牌其他品牌價(jià)格區(qū)間面議
產(chǎn)地類(lèi)別進(jìn)口應(yīng)用領(lǐng)域綜合
日本明立精機(jī)(Meiritz Seiki)公司生產(chǎn)的 “卓上型アクティブ除振システム MEシリーズ",即 ME系列臺(tái)式主動(dòng)隔振系統(tǒng)。這是一款專(zhuān)為精密儀器設(shè)計(jì)的高的端的防振設(shè)備,主要用于消除微小的環(huán)境振動(dòng),以保證精密測(cè)量或加工的準(zhǔn)確性。

MEIRITZ顯微鏡/納米表面分析 6自由度隔振臺(tái)

1. 產(chǎn)品核心功能

這款產(chǎn)品最主要的作用是通過(guò)主動(dòng)控制技術(shù)來(lái)消除振動(dòng)。
  • 工作原理:它會(huì)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)臺(tái)面的振動(dòng),并通過(guò)內(nèi)置的執(zhí)行器(Actuator)施加相反相位的力,從而抵消振動(dòng)。

  • 控制維度:它能夠在3個(gè)移動(dòng)自由度和3個(gè)旋轉(zhuǎn)自由度(共6自由度)上進(jìn)行全面的振動(dòng)控制。


2. 主要特點(diǎn)

  • 寬頻帶控制:主動(dòng)控制范圍覆蓋 0.5Hz ~ 100Hz(100Hz以上則通過(guò)被動(dòng)方式控制),能有效應(yīng)對(duì)低頻到高頻的復(fù)雜振動(dòng)源。

  • 全自動(dòng)調(diào)節(jié):具備自動(dòng)主動(dòng)調(diào)整和自動(dòng)調(diào)平功能。系統(tǒng)采用明立精機(jī)原創(chuàng)的控制系統(tǒng),能自動(dòng)優(yōu)化增益調(diào)整,無(wú)需繁瑣的人工干預(yù)。

  • 穩(wěn)定性強(qiáng):即使搭載的是像小型SPM(掃描探針顯微鏡)這樣的輕量級(jí)設(shè)備,也能保持優(yōu)異的隔振性能,不會(huì)因?yàn)樨?fù)載輕而降低效果。

  • 適用性廣:主要適用于顯微鏡系統(tǒng)、精密計(jì)量?jī)x器、納米表面分析等對(duì)振動(dòng)極其敏感的領(lǐng)域。


3. 主要型號(hào)與規(guī)格

該系列目前主要有兩個(gè)型號(hào):ME-0405ME-0506。它們的主要區(qū)別在于臺(tái)面尺寸和設(shè)備重量。
項(xiàng)目ME-0405ME-0506
搭載面尺寸 (mm)430 × 530530 × 630
機(jī)體尺寸 (mm)432 × 532 × 93532 × 632 × 93
機(jī)體質(zhì)量 (kg)3142
最大搭載質(zhì)量 (kg)8080
通用規(guī)格:
  • 電源:100V-240V,AC單相,50/60Hz(全球通用電壓)。

  • 顯示:前面板配備LCD控制面板,用于顯示狀態(tài)。


4. 可選配件

為了滿足更高的剛性和光學(xué)實(shí)驗(yàn)需求,該產(chǎn)品提供以下選項(xiàng):
  • 鋼制蜂窩光學(xué)平臺(tái):可將標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)面更換為高剛性的鋼制蜂窩光學(xué)平臺(tái),臺(tái)面帶有M6螺紋孔陣列,方便固定光學(xué)元件。

  • 專(zhuān)用防音箱:用于隔絕外部噪音。

  • 專(zhuān)用支架:用于特定的安裝環(huán)境。


5. 總結(jié)

ME系列是一款高性能的臺(tái)式主動(dòng)隔振臺(tái),特別適合實(shí)驗(yàn)室或精密制造環(huán)境中,用于保護(hù)電子顯微鏡、納米測(cè)量設(shè)備等昂貴且敏感的儀器免受環(huán)境振動(dòng)干擾。其自動(dòng)調(diào)節(jié)功能和對(duì)輕負(fù)載設(shè)備的適應(yīng)性是其優(yōu)勢(shì)所在。



MEIRITZ顯微鏡/納米表面分析 6自由度隔振臺(tái)ME-0405/0506/0806D/1007D 該產(chǎn)品主要用于消除微小環(huán)境振動(dòng),為精密儀器提供高穩(wěn)定度的操作環(huán)境。廣泛適用于納米科技、半導(dǎo)體制造、精密光學(xué)測(cè)量、電子顯微鏡及生物醫(yī)療等對(duì)振動(dòng)極其敏感的頂端行業(yè)。

MEIRITZ顯微鏡/納米表面分析 6自由度隔振臺(tái)ME-0405/0506/0806D/1007D 該產(chǎn)品主要用于消除微小環(huán)境振動(dòng),為精密儀器提供高穩(wěn)定度的操作環(huán)境。廣泛適用于納米科技、半導(dǎo)體制造、精密光學(xué)測(cè)量、電子顯微鏡及生物醫(yī)療等對(duì)振動(dòng)極其敏感的頂端行業(yè)。


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