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產(chǎn)品分類產(chǎn)品中心/ products
產(chǎn)品型號(hào)：UO1200PMCX 730kHz/1MHz
更新時(shí)間：2026-07-07簡(jiǎn)要描述：Kokusai Electric晶圓兆聲波清洗機(jī) 振動(dòng)板，UO1200PMCX 730kHz/1MHz，該產(chǎn)品是用于半導(dǎo)體制造的高頻超聲波振子，通過730kHz或1MHz頻率實(shí)現(xiàn)低損傷、高潔凈度清洗。主要適用于晶圓、光刻掩模等精密清洗環(huán)節(jié)，是半導(dǎo)體行業(yè)關(guān)鍵制程設(shè)備的核心組件。
| 品牌 | 其他品牌 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,能源,電子/電池,綜合 |
|---|
高頻清洗技術(shù)：主打“微音波®"技術(shù)，提供 730kHz 和 1MHz 兩種固定頻率選項(xiàng)。高頻超聲波能夠在實(shí)現(xiàn)高潔凈度清洗的同時(shí)，顯著降低對(duì)精密半導(dǎo)體元件的物理損傷（低損傷）。
外置安裝設(shè)計(jì)：根據(jù)網(wǎng)頁圖示及描述，該產(chǎn)品主要為外置振子型（也備有浸入式可選），安裝于清洗槽外部，通過振動(dòng)板將超聲波傳導(dǎo)至清洗液中，便于維護(hù)且能保持清洗環(huán)境的潔凈。
堅(jiān)固耐用的構(gòu)造：核心振動(dòng)元件采用 PZT（鋯鈦酸鉛），振動(dòng)板、外殼及安裝螺栓均采用 SUS（不銹鋼） 材質(zhì)，具備良好的耐腐蝕性和機(jī)械強(qiáng)度，適應(yīng)工業(yè)級(jí)連續(xù)作業(yè)需求。
寬溫域適應(yīng)：支持 15℃ 至 70℃ 的使用液溫范圍，能夠適應(yīng)不同化學(xué)清洗工藝的溫度要求。
| 項(xiàng)目 | 規(guī)格詳情 |
|---|---|
| 產(chǎn)品類型 | 外置式超聲波振子（Microsonic Transducer） |
| 型號(hào) | UO1200PMCX |
| 工作頻率 | 730kHz 或 1MHz（需根據(jù)清洗對(duì)象選擇） |
| 振動(dòng)元件 | PZT |
| 適用液溫 | 15 ~ 70℃ |
| 主體材質(zhì) | SUS (不銹鋼) |
| 安裝方式 | 螺栓固定（附帶SUS材質(zhì)螺母及墊片） |
半導(dǎo)體制造：用于晶圓（Wafer）清洗、光刻掩模版清洗等關(guān)鍵制程。
精密部件清洗：適用于需要高精度、低損傷清洗的各類精密電子元件或光學(xué)部件。
標(biāo)準(zhǔn)材質(zhì)：EPDM、硅橡膠、氯丁橡膠、氟橡膠。
特殊透氣材質(zhì)：Gore-Tex®（戈?duì)柼厮?reg;），可用于需要排氣或特殊氣密性的場(chǎng)景。
該產(chǎn)品通過了CE、FCC（需另購噪聲濾波器）及Semi-F47等標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，是一款成熟穩(wěn)定的工業(yè)級(jí)清洗組件。
Kokusai Electric晶圓兆聲波清洗機(jī) 振動(dòng)板，UO1200PMCX 730kHz/1MHz，該產(chǎn)品是用于半導(dǎo)體制造的高頻超聲波振子，通過730kHz或1MHz頻率實(shí)現(xiàn)低損傷、高潔凈度清洗。主要適用于晶圓、光刻掩模等精密清洗環(huán)節(jié)，是半導(dǎo)體行業(yè)關(guān)鍵制程設(shè)備的核心組件。
Kokusai Electric晶圓兆聲波清洗機(jī) 振動(dòng)板，UO1200PMCX 730kHz/1MHz，該產(chǎn)品是用于半導(dǎo)體制造的高頻超聲波振子，通過730kHz或1MHz頻率實(shí)現(xiàn)低損傷、高潔凈度清洗。主要適用于晶圓、光刻掩模等精密清洗環(huán)節(jié)，是半導(dǎo)體行業(yè)關(guān)鍵制程設(shè)備的核心組件。
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