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IMTEC Accumeg 半導(dǎo)體納米 兆聲波清洗槽

  • 產(chǎn)品型號(hào):UO1200PMCA 發(fā)生器
  • 更新時(shí)間:2026-07-07

簡(jiǎn)要描述:IMTEC Accumeg 半導(dǎo)體納米 兆聲波清洗槽 UO1200PMCA 發(fā)生器,Accumeg™系統(tǒng)主要用于半導(dǎo)體晶圓(最大支持300毫米及以上)和電子元件的高精度清洗。其核心功能是利用兆聲波技術(shù)(頻率為975 kHz或730 kHz)進(jìn)行濕法工藝處理,有效去除微小顆粒污染物。該設(shè)備提供石英和PVDF兩種槽體材質(zhì),具備高功率密度和溫度控制能力(最高達(dá)70°C或130°C)......

產(chǎn)品詳情
品牌其他品牌應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,化工,能源,電子/電池,綜合
White Knight® 品牌下的 Accumeg™ 兆聲波清洗槽及系統(tǒng)的產(chǎn)品信息、規(guī)格、應(yīng)用領(lǐng)域。以下是關(guān)于該產(chǎn)品的詳細(xì)總結(jié):


一、產(chǎn)品概述:Accumeg™ 兆聲波清洗槽及系統(tǒng)

該系統(tǒng)由 IMTEC 提供,屬于半導(dǎo)體晶圓和電子行業(yè)的納米制造設(shè)備,旨在提供優(yōu)良的濕法工藝清洗解決方案。產(chǎn)品線包括石英和 PVDF 材質(zhì)的清洗槽,適用于不同潔凈度和化學(xué)兼容性的需求。

IMTEC Accumeg 半導(dǎo)體納米 兆聲波清洗槽

二、核心特性與技術(shù)規(guī)格

1. 主要特性

  • 超長(zhǎng)保修:提供長(zhǎng)達(dá) **個(gè)月的全面保修。

  • 兼容性:支持最大 300 毫米及更大的晶圓基板,提供卡帶式與無(wú)卡帶式設(shè)計(jì)。

  • 維護(hù)便捷:配備現(xiàn)場(chǎng)可更換的換能器陣列,便于維修和保養(yǎng)。

  • 高性能:具備高功率密度,工作溫度可達(dá) 70°C。


2. 詳細(xì)規(guī)格參數(shù)

  • 兆聲波頻率:提供 975 kHz 和 730 kHz(±25 kHz)兩種頻率選項(xiàng)。

  • 槽體材質(zhì):可選石英、PVDF 或 PFA。

  • 換能器組件:采用 316L 電解拋光或 PFA/PTFE 涂層不銹鋼板,電纜為 25 歐姆聚四氟乙烯護(hù)套(長(zhǎng) 5 米)。

  • 溫度范圍:邊界層系統(tǒng)最高工作溫度為 130°C,直接式系統(tǒng)為 65°C。

  • 電氣標(biāo)準(zhǔn):工作電壓為 208-230 VAC(單相),符合 CE 指令并通過(guò)第三方認(rèn)證。


三、應(yīng)用領(lǐng)域與行業(yè)解決方案

1. 濕法工藝解決方案

  • 系統(tǒng)類(lèi)別:包括 Wet Benches(濕法臺(tái))、Single Wafer(單晶圓)、FOUP/FOSB Cleaner(晶圓傳送盒清洗)及 Marangoni Dryer(馬蘭戈尼干燥器)。

  • 組件支持:涉及 Genius Gather(天才匯聚)、Kaiqiao(凱喬)、White Knight、SEBA 等組件。

2. 廣泛的應(yīng)用場(chǎng)景

  • 納米技術(shù):3D 納米雕刻、無(wú)掩模微加工、大距離無(wú)縫納米圖案化。

  • 新能源與電子:薄膜太陽(yáng)能電池、ITO(氧化銦錫)處理。

  • 前沿科技:生物成像、生物醫(yī)學(xué)設(shè)備涂層、量子技術(shù)。


IMTEC Accumeg 半導(dǎo)體納米 兆聲波清洗槽 UO1200PMCA 發(fā)生器,Accumeg™系統(tǒng)主要用于半導(dǎo)體晶圓(最大支持300毫米及以上)和電子元件的高精度清洗。其核心功能是利用兆聲波技術(shù)(頻率為975 kHz或730 kHz)進(jìn)行濕法工藝處理,有效去除微小顆粒污染物。該設(shè)備提供石英和PVDF兩種槽體材質(zhì),具備高功率密度和溫度控制能力(最高達(dá)70°C或130°C)......

IMTEC Accumeg 半導(dǎo)體納米 兆聲波清洗槽 UO1200PMCA 發(fā)生器,Accumeg™系統(tǒng)主要用于半導(dǎo)體晶圓(最大支持300毫米及以上)和電子元件的高精度清洗。其核心功能是利用兆聲波技術(shù)(頻率為975 kHz或730 kHz)進(jìn)行濕法工藝處理,有效去除微小顆粒污染物。該設(shè)備提供石英和PVDF兩種槽體材質(zhì),具備高功率密度和溫度控制能力(最高達(dá)70°C或130°C)......

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