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產(chǎn)品型號(hào):
更新時(shí)間:2026-05-28簡(jiǎn)要描述:日本長(zhǎng)野計(jì)器半導(dǎo)體氣體壓力開關(guān)CB14-173,該設(shè)備專為半導(dǎo)體制造過(guò)程中使用的各類氣體設(shè)計(jì),具有小型化、高潔凈度和高氣密性的特點(diǎn)。
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,能源,電子/電池,綜合 |
小型輕量化:專為設(shè)備緊湊空間設(shè)計(jì),便于直接安裝在裝置上。
易操作性:壓力設(shè)定調(diào)節(jié)簡(jiǎn)便,外部可調(diào)。
穩(wěn)定性:微動(dòng)開關(guān)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)避免了額外應(yīng)力,確保制程控制穩(wěn)定。

制造環(huán)境:在 Class 100 潔凈臺(tái)或潔凈室中清洗、組裝,全程無(wú)油無(wú)水處理。
表面處理:隔膜型氣體接觸部件經(jīng)過(guò)電解拋光(Electropolished)。
包裝:成品采用防塵聚乙烯袋密封包裝。
合規(guī)聲明:產(chǎn)品本體不貼附“無(wú)油無(wú)水"標(biāo)簽,但出廠默認(rèn)符合該標(biāo)準(zhǔn)。
壓力范圍:涵蓋真空(-0.1 MPa)至高壓(2.1 MPa)多種量程。
破壞壓力:根據(jù)量程不同,最高可達(dá) 25 MPa。
死區(qū)(Deadband):最大控制在 0.042 MPa 以內(nèi),確保響應(yīng)精度。
接液材質(zhì):SUS316 或 SUS316L(波紋管或隔膜型)。
接口形式:1/8 NPT,1/4 VCR(9/16-18UNF 內(nèi)/外螺紋)。
額定值:125V/250V AC,15A。
絕緣性能:端子與外殼間耐壓 1500V AC/1 分鐘,絕緣電阻 ≥100MΩ。
觸點(diǎn)數(shù)量:1 組觸點(diǎn)(1-contact)。
工作/存儲(chǔ)溫度:-5℃ 至 40℃。
泄漏率:氦氣泄漏率 ≤ 1.01×10?? Pa·m3/s(極低泄漏,保證氣密性)。
外殼防護(hù):室內(nèi)開啟型。
推薦范圍:為保證高精度與長(zhǎng)壽命,建議設(shè)定在滿量程(F.S.)的 30% 至 65% 之間。
上下限計(jì)算:
上限 = (最的低的壓力值 + 死區(qū)) 至 90% 最大量程。
下限 = 最的低的壓力值 至 (90% 最大量程 - 死區(qū))。
復(fù)合量規(guī)(Compound gauge)需按特定公式計(jì)算。
型號(hào)配置:需指定型號(hào)代碼(Model Number),包括壓力范圍、接口類型等規(guī)格。
特殊標(biāo)注:若無(wú)特定規(guī)格要求,用“X"表示。
防爆要求:嚴(yán)禁安裝在正常操作條件下可能引發(fā)點(diǎn)火或爆炸的裝置或大氣環(huán)境中(僅適用于非易燃易爆環(huán)境)。
操作規(guī)范:嚴(yán)禁破壞產(chǎn)品密封包裝,確保在潔凈環(huán)境下開封使用,避免污染制程氣體。
該 CB14 壓力開關(guān)針對(duì)半導(dǎo)體制造的嚴(yán)苛要求進(jìn)行了優(yōu)化,通過(guò)嚴(yán)格的潔凈度控制和材料選擇,確保了在敏感氣體環(huán)境下的安全與可靠運(yùn)行。
日本長(zhǎng)野計(jì)器半導(dǎo)體氣體壓力開關(guān)CB14-173,該設(shè)備專為半導(dǎo)體制造過(guò)程中使用的各類氣體設(shè)計(jì),具有小型化、高潔凈度和高氣密性的特點(diǎn)。
日本長(zhǎng)野計(jì)器半導(dǎo)體氣體壓力開關(guān)CB14-173,該設(shè)備專為半導(dǎo)體制造過(guò)程中使用的各類氣體設(shè)計(jì),具有小型化、高潔凈度和高氣密性的特點(diǎn)。