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日本長(zhǎng)野計(jì)器半導(dǎo)體氣體壓力開關(guān)CB14-173

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 更新時(shí)間:2026-05-28

簡(jiǎn)要描述:日本長(zhǎng)野計(jì)器半導(dǎo)體氣體壓力開關(guān)CB14-173,該設(shè)備專為半導(dǎo)體制造過(guò)程中使用的各類氣體設(shè)計(jì),具有小型化、高潔凈度和高氣密性的特點(diǎn)。

產(chǎn)品詳情
品牌其他品牌產(chǎn)地類別進(jìn)口
應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,化工,能源,電子/電池,綜合


一、產(chǎn)品概述與核心特征


1. 設(shè)計(jì)理念


  • 小型輕量化:專為設(shè)備緊湊空間設(shè)計(jì),便于直接安裝在裝置上。

  • 易操作性:壓力設(shè)定調(diào)節(jié)簡(jiǎn)便,外部可調(diào)。

  • 穩(wěn)定性:微動(dòng)開關(guān)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)避免了額外應(yīng)力,確保制程控制穩(wěn)定。

  • 日本長(zhǎng)野計(jì)器半導(dǎo)體氣體壓力開關(guān)CB14-173


2. 潔凈保障(關(guān)鍵特性)


  • 制造環(huán)境:在 Class 100 潔凈臺(tái)或潔凈室中清洗、組裝,全程無(wú)油無(wú)水處理。

  • 表面處理:隔膜型氣體接觸部件經(jīng)過(guò)電解拋光(Electropolished)。

  • 包裝:成品采用防塵聚乙烯袋密封包裝。

  • 合規(guī)聲明:產(chǎn)品本體不貼附“無(wú)油無(wú)水"標(biāo)簽,但出廠默認(rèn)符合該標(biāo)準(zhǔn)。


二、技術(shù)規(guī)格參數(shù)表


1. 壓力與機(jī)械性能


  • 壓力范圍:涵蓋真空(-0.1 MPa)至高壓(2.1 MPa)多種量程。

  • 破壞壓力:根據(jù)量程不同,最高可達(dá) 25 MPa。

  • 死區(qū)(Deadband):最大控制在 0.042 MPa 以內(nèi),確保響應(yīng)精度。

  • 接液材質(zhì):SUS316 或 SUS316L(波紋管或隔膜型)。

  • 接口形式:1/8 NPT,1/4 VCR(9/16-18UNF 內(nèi)/外螺紋)。


2. 電氣特性


  • 額定值:125V/250V AC,15A。

  • 絕緣性能:端子與外殼間耐壓 1500V AC/1 分鐘,絕緣電阻 ≥100MΩ。

  • 觸點(diǎn)數(shù)量:1 組觸點(diǎn)(1-contact)。


3. 環(huán)境適應(yīng)性


  • 工作/存儲(chǔ)溫度:-5℃ 至 40℃。

  • 泄漏率:氦氣泄漏率 ≤ 1.01×10?? Pa·m3/s(極低泄漏,保證氣密性)。

  • 外殼防護(hù):室內(nèi)開啟型。


 三、壓力設(shè)定與選型指南


1. 設(shè)定點(diǎn)設(shè)定原則


  • 推薦范圍:為保證高精度與長(zhǎng)壽命,建議設(shè)定在滿量程(F.S.)的 30% 至 65% 之間。

  • 上下限計(jì)算

    • 上限 = (最的低的壓力值 + 死區(qū)) 至 90% 最大量程。

    • 下限 = 最的低的壓力值 至 (90% 最大量程 - 死區(qū))。

    • 復(fù)合量規(guī)(Compound gauge)需按特定公式計(jì)算。


2. 選型與訂貨


  • 型號(hào)配置:需指定型號(hào)代碼(Model Number),包括壓力范圍、接口類型等規(guī)格。

  • 特殊標(biāo)注:若無(wú)特定規(guī)格要求,用“X"表示。


四、安裝注意事項(xiàng)


  • 防爆要求:嚴(yán)禁安裝在正常操作條件下可能引發(fā)點(diǎn)火或爆炸的裝置或大氣環(huán)境中(僅適用于非易燃易爆環(huán)境)。

  • 操作規(guī)范:嚴(yán)禁破壞產(chǎn)品密封包裝,確保在潔凈環(huán)境下開封使用,避免污染制程氣體。


該 CB14 壓力開關(guān)針對(duì)半導(dǎo)體制造的嚴(yán)苛要求進(jìn)行了優(yōu)化,通過(guò)嚴(yán)格的潔凈度控制和材料選擇,確保了在敏感氣體環(huán)境下的安全與可靠運(yùn)行。




日本長(zhǎng)野計(jì)器半導(dǎo)體氣體壓力開關(guān)CB14-173,該設(shè)備專為半導(dǎo)體制造過(guò)程中使用的各類氣體設(shè)計(jì),具有小型化、高潔凈度和高氣密性的特點(diǎn)。

日本長(zhǎng)野計(jì)器半導(dǎo)體氣體壓力開關(guān)CB14-173,該設(shè)備專為半導(dǎo)體制造過(guò)程中使用的各類氣體設(shè)計(jì),具有小型化、高潔凈度和高氣密性的特點(diǎn)。

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