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如何高效固化半導(dǎo)體晶圓保護(hù)膜與劃片膠帶?Aitec MUVBA系列來(lái)解決

更新時(shí)間:2026-08-07      瀏覽次數(shù):84

針對(duì)半導(dǎo)體晶圓保護(hù)膜與劃片膠帶的高效固化,Aitec System 的 MUVBA 系列晶圓 UV 照射器提供了一個(gè)兼具緊湊性與成本效益的解決方案。該設(shè)備專為半導(dǎo)體制造的后道工序設(shè)計(jì),例如背面對(duì)準(zhǔn)時(shí)的晶圓保護(hù)膜固化、劃片后的 UV 固化型劃片膠帶固化等,同樣適用于研發(fā)實(shí)驗(yàn)和小批量生產(chǎn)。


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核心優(yōu)勢(shì)與特點(diǎn)

  • 高效固化設(shè)計(jì)
    • 氮?dú)猓∟?)吹掃機(jī)構(gòu):通過(guò)注入氮?dú)?,有效降低紫外線固化過(guò)程中的氧氣抑制效應(yīng),從而提升固化效率和質(zhì)量。

    • 氮?dú)忸A(yù)吹掃功能:可大幅縮短不必要的紫外線照射時(shí)間,進(jìn)一步提高生產(chǎn)效率。

    • 強(qiáng)度可調(diào):紫外線照射強(qiáng)度可通過(guò)旋鈕在 0% 至 100% 范圍內(nèi)進(jìn)行調(diào)節(jié),以適應(yīng)不同材料的固化需求。

  • 靈活便捷
    • 波長(zhǎng)切換:采用簡(jiǎn)易的安裝結(jié)構(gòu),可以輕松更換不同波長(zhǎng)的紫外線照射器,以匹配多種 UV 固化材料。

    • 流量控制:氮?dú)獯祾叩牧髁靠赏ㄟ^(guò)流量計(jì)上的閥門進(jìn)行精確控制。

  • 經(jīng)濟(jì)實(shí)用
    • 作為一款緊湊型、低成本的晶圓 UV 照射器,MUVBA 系列在滿足高性能要求的同時(shí),有效控制了成本。


產(chǎn)品規(guī)格示例 (MUVBA-0.4×0.6×0.2)

項(xiàng)目規(guī)格
照射器類型UV-LED 面照射器
發(fā)光波長(zhǎng)可選 365nm、385nm、395nm、405nm
N? 氣體流量1~10NL/min (流量可調(diào))
機(jī)身尺寸 (寬/深/高)350 × 600 × 190 mm
輸入電源電壓AC100-240V


適用晶圓尺寸

該系列設(shè)備適用于多種尺寸的晶圓,包括:
  • 6英寸

  • 8英寸

  • 12英寸

主要應(yīng)用實(shí)例

  • 背面對(duì)準(zhǔn)時(shí)的晶圓保護(hù)膜固化

  • 劃片后的 UV 固化型劃片膠帶的固化

  • 研發(fā)、實(shí)驗(yàn)用途

  • 小批量生產(chǎn)用途


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