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半導體晶圓背面圖案觀察難?試試清和光學SIS-150近紅外鹵素光源

更新時間:2026-08-08      瀏覽次數(shù):62
在半導體制造與檢測領(lǐng)域,對硅晶圓(Siウェハ)進行內(nèi)部檢查或背面圖案觀察是一項極的具的挑戰(zhàn)性的任務(wù)。由于硅材料對可見光不透明,傳統(tǒng)的光源難以穿透晶圓,導致無法實現(xiàn)有效的非破壞性檢測。
清和光學製作所(Seiwa Optical)推出的近紅外鹵素光源(SIS-150系列),正是為解決這一難題而生的專業(yè)光纖光源裝置。

半導體晶圓背面圖案觀察難?試試清和光學SIS-150近紅外鹵素光源.png

近紅外光:穿透硅晶圓的“鑰匙"

SIS-150系列的核心優(yōu)勢在于其發(fā)射的光譜在近紅外區(qū)域有顯著峰值。近紅外光具備較強的穿透能力,可以輕松穿過硅晶圓。當配合專用的光學系統(tǒng)和對近紅外波段敏感的相機使用時,檢測人員便能清晰地觀察到晶圓的內(nèi)部結(jié)構(gòu)或背面的電路圖案,從而實現(xiàn)精準的非破壞性檢測。


SIS-150系列:兩種型號,精準匹配不同需求

為了滿足不同波長范圍的檢測需求,SIS-150系列提供了兩種型號:
  • SIS-150-NIR
    • 照射波長范圍:400 ~ 1100 nm

    • 峰值波長:800 nm

    • 適用于常規(guī)的近紅外檢測應(yīng)用。

  • SIS-150-AIR
    • 照射波長范圍:400 ~ 1700 nm

    • 峰值波長:1000 nm

    • 覆蓋更寬的波長范圍,適用于需要更長波長進行檢測的復雜場景。請注意,此型號需搭配專用耐熱光導使用。


高度可控,靈活集成

SIS-150系列不僅在性能上表現(xiàn)出色,在控制方面也提供了極大的靈活性,便于集成到各種自動化檢測系統(tǒng)中:
  • 精細調(diào)光:支持0.1%至100%的寬范圍光量調(diào)節(jié),可通過模擬電壓(DC 0-5V)進行精確控制。

  • 遠程控制:具備遠程開關(guān)(ON/OFF)功能,方便系統(tǒng)集中控制。

  • 豐富配件:可選配波長選擇帶通濾波器、機械快門以及支持多種信號(模擬/數(shù)字/串行)的256級數(shù)字調(diào)光板,以滿足更專業(yè)的檢測需求。


產(chǎn)品規(guī)格一覽

型號照射波長范圍峰值波長
SIS-150-NIR400 ~ 1100 nm800 nm
SIS-150-AIR400 ~ 1700 nm1000 nm






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