光罩Lift-off殘膠高效剝離：SONOSYS 400 kHz-2 MHz兆聲波換能器參數(shù)指南

更新時(shí)間：2026-08-13

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光罩Lift-off后殘膠殘留，是傳統(tǒng)清洗“清不干凈就加藥加時(shí)長(zhǎng)，最終損傷精細(xì)線路"的共性痛點(diǎn)。SONOSYS 400kHz-2MHz全系列兆聲波換能器，以可控微空化效應(yīng)，實(shí)現(xiàn)高效剝膠+零微結(jié)構(gòu)損傷，已在全球超4500套半導(dǎo)體精密清洗產(chǎn)線落地。

核心參數(shù)速查表

頻率	功率	適配光罩	核心用途
400kHz	1000W	4-6英寸光罩	厚層殘膠預(yù)剝離，大幅縮短工藝時(shí)長(zhǎng)
600kHz	1000W	6英寸量產(chǎn)光罩	量產(chǎn)主流款，兼顧剝膠效率與線路保護(hù)
1MHz	1000W	6-8英寸高精度光罩	溝槽隱蔽殘膠精洗，無(wú)清洗死角
2MHz	600W	8英寸先進(jìn)制程光罩	100nm以下超精細(xì)線路無(wú)損剝膠

全系列支持斜角出線、氮?dú)饫鋮s定制，最高適配80℃高溫藥液場(chǎng)景。

配套適配要點(diǎn)

搭配同系列MHM兆聲波發(fā)生器，支持10%-100%線性調(diào)功、實(shí)時(shí)自動(dòng)調(diào)頻，50Ω標(biāo)準(zhǔn)接口可直接改造現(xiàn)有濕法槽，19英寸機(jī)柜緊湊安裝無(wú)需改動(dòng)產(chǎn)線布局。

依托專的利的“蝴蝶技術(shù)"壓電陶瓷，該系列聲壓比同類產(chǎn)品高40%、效率高30%，光罩殘膠去除率可達(dá)99.9%，微結(jié)構(gòu)損傷率近乎為零。

深圳九州工業(yè)品有限公司成立于2016年，坐落于年輕奮進(jìn)的深圳市，是一家工業(yè)品綜合服務(wù)商。主要包括機(jī)電設(shè)備、電子產(chǎn)品、儀器儀表、工業(yè)器材的銷售及其它國(guó)內(nèi)貿(mào)易、經(jīng)營(yíng)進(jìn)出口等業(yè)務(wù)。聯(lián)合國(guó)際名品牌搭建工業(yè)品供應(yīng)鏈，采用與 MRO分銷商結(jié)盟的方式，把零散采購(gòu)訂單集中處理，流程簡(jiǎn)化，提供一站式供應(yīng)服務(wù)。在美國(guó)、德國(guó)、日本、韓國(guó)、中國(guó)臺(tái)灣建立采購(gòu)中心，一的流的專業(yè)各區(qū)域采購(gòu)團(tuán)隊(duì)、技術(shù)顧問(wèn)、銷售團(tuán)隊(duì)為各種領(lǐng)域提供各類高品質(zhì)的工業(yè)產(chǎn)品和優(yōu)質(zhì)的整合服務(wù)。通過(guò)與廠家建立快捷、有效的溝通，和眾多國(guó)外生產(chǎn)廠家建立了長(zhǎng)久合作伙伴關(guān)系。

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