在半導(dǎo)體晶圓高精度檢測場景中，高速運(yùn)動的晶圓產(chǎn)線對光源的同步性、亮度可控性提出了非常高要求，CCS PF系列作為超亮頻閃光源專用控制電源，憑借精準(zhǔn)的時序控制能力，為晶圓外觀缺陷檢測、顯微成像等環(huán)節(jié)提供了穩(wěn)定可靠的超高速頻閃光源解決方案。

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核心時序控制優(yōu)勢

半導(dǎo)體晶圓檢測往往需要在相機(jī)極短的曝光窗口內(nèi)完成高亮度補(bǔ)光，避免運(yùn)動模糊、畫面欠光問題，PF系列從根源上解決了傳統(tǒng)光源時序不匹配的痛點(diǎn)：

• 支持?發(fā)光延遲時間0～100μs?，控制精度可達(dá)0.1μs，可將發(fā)光時序精準(zhǔn)對齊到相機(jī)曝光區(qū)間內(nèi)，確保晶圓表面獲得充足均勻的光照

• 最短發(fā)光時間僅為1μs，適配超高速流水線的晶圓抓拍需求，徹的底的消除高速移動帶來的成像拖影

• 512檔精細(xì)調(diào)光，通過調(diào)整輸出電壓靈活改變光源亮度，可適配不同厚度、不同材質(zhì)晶圓的檢測光照需求

多型號適配產(chǎn)線需求

PF系列提供兩款主流規(guī)格，可靈活匹配不同規(guī)模的晶圓檢測工位：

其中PF-A16048-4額外搭載觸發(fā)聯(lián)動功能，僅需輸入1路觸發(fā)信號，即可同步控制多個通道的光源聯(lián)動點(diǎn)亮/熄滅，滿足晶圓多視角同步成像的檢測需求。

自動化產(chǎn)線集成能力

針對半導(dǎo)體無塵車間的自動化運(yùn)行要求，PF系列提供了完的善的對接能力：

• 同時支持以太網(wǎng)通信與并行通信，可直接接入產(chǎn)線PLC、視覺控制器，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程參數(shù)配置與狀態(tài)監(jiān)控

• 支持最多10組場景參數(shù)存儲，通過以太網(wǎng)即可快速完成調(diào)光、頻閃時長、發(fā)光延遲等參數(shù)的注冊，也可通過觸發(fā)線纜快速切換不同檢測場景的光照方案

• 支持雙調(diào)光范圍切換：HI檔輸出DC33～48V，LO檔輸出DC12～48V，可根據(jù)不同檢測工位的亮度需求靈活切換，適配從低倍宏觀掃拍到高倍顯微缺陷檢測的全場景需求。

這套方案憑借高同步性、高可控性的頻閃控制能力，完的美的適配半導(dǎo)體晶圓高速檢測的嚴(yán)苛工況，大幅提升了晶圓外觀瑕疵、微觀圖案的成像清晰度，是工業(yè)視覺半導(dǎo)體檢測領(lǐng)域的高可靠性光源控制選擇。

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