核心技術(shù)與結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

• 日本國(guó)內(nèi)廠商多采用加工精度高、穩(wěn)定性好的"平板型"壓電陶瓷，雖然擅長(zhǎng)均勻面清洗，但能量集中度存在局限。

• Sonosys 的專的利的"蝴蝶壓電陶瓷"具有獨(dú)特的蝴蝶形狀，通過(guò)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)將振動(dòng)效的率的最的大化。

• 與同功率輸入相比，音壓最高提升40%，在將微細(xì)溝槽內(nèi)頑固顆粒彈射出去的"剝離力"方面具有明顯優(yōu)勢(shì)。

• 國(guó)內(nèi)廠商則主要基于可靠的平板結(jié)構(gòu)，通過(guò)陣列控制多振動(dòng)子布局來(lái)保證均勻性。

頻率范圍

• 頻率越高，液體內(nèi)粒子的加速度越大，同時(shí)破壞性的空化效應(yīng)（氣泡破裂）被抑制。

• 即實(shí)現(xiàn)"能去除污垢，但不破壞納米級(jí)精細(xì)圖案"這一極的高的要求的清洗效果。

耐環(huán)境性與模塊化設(shè)計(jì)

• 全PFA密封結(jié)構(gòu)： Sonosys 將換能器整體用PFA（氟樹脂）完的全的封裝，即使將設(shè)備直接浸泡在濃鹽酸、強(qiáng)堿或高溫藥液中施加超聲波，內(nèi)部振動(dòng)子也不易劣化，具有壓倒性的耐久性。

• 即插即用： 采用符合歐洲標(biāo)準(zhǔn)的19英寸機(jī)架緊湊型發(fā)生器，易于加裝到現(xiàn)有設(shè)備或進(jìn)行OEM集成。

應(yīng)用領(lǐng)域

?

• 下一代半導(dǎo)體

• MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）開發(fā)

• 光掩模（Photomask）

• 掩模清洗

• 單片清洗（枚葉清洗）

與日本國(guó)內(nèi)廠商的選擇參考

總結(jié)

Sonosys 的大型超聲波清洗噴嘴憑借專的利的蝴蝶振動(dòng)子技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了超越日本國(guó)內(nèi)廠商的高音壓和超高頻率（最高9MHz）。尤其在半導(dǎo)體和MEMS開發(fā)等領(lǐng)域，能夠在不破壞納米級(jí)精細(xì)圖案的前提下進(jìn)行清洗，是面向下一代工藝的強(qiáng)力解決方案。事實(shí)上，已有不少日本國(guó)內(nèi)制造廠商的設(shè)備中直接集成了 Sonosys 的產(chǎn)品。

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