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還在用AFM做晶圓檢測(cè)?TWIN NINES TN-A1非接觸式測(cè)量?jī)x如何提升良率?

更新時(shí)間:2026-08-20      瀏覽次數(shù):75
在半導(dǎo)體、光學(xué)元器件制造環(huán)節(jié),晶圓、功能基板的表面粗糙度、微觀形貌、臺(tái)階段差、劃痕缺陷檢測(cè),直接決定成品良率。傳統(tǒng)行業(yè)大多采用 AFM 原子力顯微鏡開展亞納米級(jí)表面檢測(cè),但實(shí)際應(yīng)用中存在諸多現(xiàn)實(shí)痛點(diǎn)。

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AFM 測(cè)量耗時(shí)久,50μm×50μm 范圍檢測(cè)需要 5?15 分鐘,僅適合抽樣檢測(cè),無法滿足產(chǎn)線大批量全檢需求;設(shè)備采購(gòu)成本高,還需要額外配置專用防震臺(tái),整體初期投入大;探針屬于消耗品,需要定期更換,持續(xù)產(chǎn)生耗材成本,同時(shí)對(duì)放置環(huán)境有嚴(yán)格要求,產(chǎn)線現(xiàn)場(chǎng)很難直接部署。


TWIN NINES TN?A1 納米表面粗糙度?形狀測(cè)量?jī)x,作為可替代 AFM 的非接觸式檢測(cè)設(shè)備,采用光外差干涉相位差測(cè)量原理,高度方向分辨率可達(dá) 0.1nm,

測(cè)量結(jié)果可與 AFM 實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)互換。


設(shè)備擁有 7 大核心優(yōu)勢(shì):測(cè)量效率大幅提升,100μm×100μm 檢測(cè)范圍僅需 25 秒,支持產(chǎn)線全數(shù)檢測(cè);整機(jī)采購(gòu)成本相比 AFM 下降 40?50%,無需配置防震臺(tái),普通防塵環(huán)境即可部署,降低場(chǎng)地與設(shè)備投入;激光非接觸式檢測(cè),不會(huì)劃傷樣品表面;支持大范圍與多點(diǎn)測(cè)量,適配大小試樣;操作門檻低,無需專業(yè)測(cè)量知識(shí),簡(jiǎn)單設(shè)置參數(shù)即可啟動(dòng)檢測(cè)。


儀器可完成表面粗糙度 Sa/Ra、三維面形貌、臺(tái)階段差、劃痕缺陷、連續(xù)段差形態(tài)等多項(xiàng)檢測(cè),適配硅晶圓、鉭酸鋰 LT 基板、VLSI 標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階樣塊等試樣。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光學(xué)元器件、精密加工行業(yè),既可以用于實(shí)驗(yàn)室研發(fā)分析,也能夠放置研磨加工設(shè)備旁對(duì)接生產(chǎn)產(chǎn)線,完成產(chǎn)品表面質(zhì)量監(jiān)控,有效提升生產(chǎn)良率。





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