在真空鍍膜、半導(dǎo)體刻蝕、化學(xué)氣相沉積等工藝中，真空腔體內(nèi)往往充斥著大量反應(yīng)副產(chǎn)物、粉塵和有機(jī)污染物。傳統(tǒng) Bayard-Alpert（B-A 型）電離真空計(jì)因柵極結(jié)構(gòu)開放、燈絲暴露面積大，極易被污染物附著導(dǎo)致發(fā)射電流漂移、靈敏度下降，甚至燈絲燒斷，造成非計(jì)劃停機(jī)和維護(hù)成本攀升。

ULVAC（愛(ài)發(fā)科）ST200 系列三極管型電離真空計(jì)正是針對(duì)這一痛點(diǎn)推出的換代產(chǎn)品。作為 ULVAC Multi Ionization Gauge 產(chǎn)品線的兩大系列之一，ST200 采用 Triode（三極管）結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，燈絲與收集極布局更耐污染，適合高污染真空環(huán)境下的長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。同時(shí)，該產(chǎn)品延續(xù)了新一代復(fù)合真空計(jì)的全部升級(jí)特性：控制器體積較上一代縮減 56%、支持燈絲壽命預(yù)警、可通過(guò) PC/Android 端軟件 UL-MOBI 進(jìn)行遠(yuǎn)程設(shè)定與數(shù)據(jù)監(jiān)控，并可搭配皮拉尼單元 SWU10-R 與壓力傳感器單元 SAU 擴(kuò)展量程至大氣壓。

核心參數(shù)

應(yīng)用場(chǎng)景

1. 真空鍍膜行業(yè)磁控濺射、蒸發(fā)鍍膜、DLC 鍍膜等工藝中，靶材飛濺和膜層副產(chǎn)物易污染真空計(jì)。ST200 的三極管結(jié)構(gòu)可有效降低污染物對(duì)燈絲和收集極的直接影響，配合電子轟擊脫氣功能，維持長(zhǎng)期測(cè)量穩(wěn)定性。

2. 半導(dǎo)體制造工藝刻蝕、CVD、離子注入等腔體存在反應(yīng)氣體和聚合物副產(chǎn)物，ST200-R 雙燈絲配置可在一根燈絲老化時(shí)無(wú)縫切換，配合燈絲壽命報(bào)警功能，在燈絲斷裂前提前預(yù)警更換時(shí)機(jī)，避免晶圓批次報(bào)廢風(fēng)險(xiǎn)。

3. 科研與工業(yè)高污染真空系統(tǒng)材料科學(xué)實(shí)驗(yàn)、粉末冶金、真空熱處理等場(chǎng)景中，揮發(fā)性物質(zhì)和粉塵較多。ST200 可作為獨(dú)立真空計(jì)使用，也可接入主機(jī)系統(tǒng)進(jìn)行統(tǒng)一控制，滿足從高真空到超高真空的連續(xù)監(jiān)測(cè)需求。

4. Load-lock 腔體擴(kuò)展應(yīng)用搭配 SWU10-R 皮拉尼單元和 SAU 壓力傳感器單元后，ST200 可實(shí)現(xiàn)從超高真空到大氣壓的全量程覆蓋，適用于 Load-lock 過(guò)渡腔體的大氣壓檢查和真空聯(lián)鎖控制，減少多表拼接帶來(lái)的校準(zhǔn)和維護(hù)負(fù)擔(dān)。

總結(jié)

ULVAC ST200 三極管型電離真空計(jì)以耐污染的 Triode 結(jié)構(gòu)為核心，搭配燈絲壽命預(yù)警、電子轟擊脫氣、雙燈絲冗余（ST200-R）等設(shè)計(jì)，系統(tǒng)性解決了高污染真空環(huán)境下傳統(tǒng)電離真空計(jì)壽命短、漂移大、停機(jī)頻繁的痛點(diǎn)。其緊湊化機(jī)身、可擴(kuò)展量程架構(gòu)以及 PC / 移動(dòng)端遠(yuǎn)程監(jiān)控能力，進(jìn)一步降低了運(yùn)維成本。對(duì)于真空鍍膜、半導(dǎo)體工藝、科研高污染腔體等場(chǎng)景，ST200 是一款兼顧穩(wěn)定性、可維護(hù)性和擴(kuò)展性的高真空測(cè)量?jī)?yōu)選方案。

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