在現(xiàn)代光學(xué)元件制造、半導(dǎo)體晶圓加工以及先進(jìn)薄膜研發(fā)中，反射率測量往往面臨諸多挑戰(zhàn)。特別是對于微小面積、復(fù)雜曲面或超薄樣品，傳統(tǒng)測量設(shè)備常因光斑過大、曲面失配或后表面反射干擾而導(dǎo)致數(shù)據(jù)失真。此外，針對超薄樣品的測量往往需要繁瑣的背面遮光處理（如磨砂或涂黑），不僅增加了工藝成本，還可能對樣品造成不可逆的損傷。針對這些行業(yè)痛點，日本知的名的光學(xué)儀器廠商澀谷光學(xué)（SHIBUYA OPTICAL CO.,LTD）推出了MSP-100系列反射率測量系統(tǒng)，以創(chuàng)新的光學(xué)設(shè)計和卓的越的性能，為小光斑、高精度、曲面及超薄樣品的無損檢測提供了理想的解決方案。

產(chǎn)品概述：全波段覆蓋的精密測量矩陣

MSP-100系列專為小面積、曲面樣品的高速高精度反射率測量而設(shè)計，將超薄樣品的測量成本降至之前所沒有的水平。為滿足不同波段的檢測需求，該系列提供三款專業(yè)型號，全面覆蓋紫外至近紅外波段：

• MSP-100B：測量波長范圍350–1100nm，專用于可見光波段的高精度檢測。

• MSP-100IR：測量波長范圍900–1700nm，針對近紅外波段優(yōu)化，適用于紅外光學(xué)材料。

• MSP-100UV：測量波長范圍230–800nm，覆蓋紫外至可見光波段，滿足特殊材料的紫外特性分析。

核心技術(shù)亮點

專的利的半透鏡技術(shù)，免除背面遮光處理

MSP-100系列采用澀谷光學(xué)已獲專的利的特殊半透鏡設(shè)計，可有效削減樣品的后表面反射光。在測量過程中，背面光線不會進(jìn)入檢測光路，這意味著用戶無需使用磨砂玻璃或黑色涂層對樣品背面進(jìn)行遮光處理。配合20×物鏡，該系統(tǒng)可對厚度低至0.2mm的超薄板進(jìn)行直接、無損的反射率測量，大幅簡化了前處理工序。

φ50μm微小光斑，精準(zhǔn)鎖定微小區(qū)域

系統(tǒng)支持在樣品表面聚焦出直徑僅為50μm的微小光斑（使用10×物鏡時）。這一特性使其能夠精確測量微小區(qū)域的光學(xué)特性，避免了大光斑測量時因邊緣效應(yīng)或局部缺陷導(dǎo)致的數(shù)據(jù)平均化問題，特別適合微小光學(xué)元件和局部鍍膜區(qū)域的檢測。

卓的越的曲面兼容性與高靈敏度傳感

MSP-100系列打破了傳統(tǒng)設(shè)備對平面樣品的限制，可兼容透鏡及各類曲面光學(xué)元件，適用樣品曲率半徑范圍寬廣（-1R到-∞，+1R到+∞），能夠準(zhǔn)確測量鏡片曲率及鍍膜不規(guī)則性。在傳感器配置上，可見光與紫外波段配備高靈敏度背照式CCD傳感器，紅外波段采用InGaAs傳感器；結(jié)合512元線性PDA傳感器、內(nèi)置16位A/D轉(zhuǎn)換器及USB 2.0接口，實現(xiàn)了高速數(shù)據(jù)處理。系統(tǒng)信噪比（S/N）高達(dá)1000:1（400–900nm），確保即使是低反射率樣品也能獲得快速、高重復(fù)性的測量結(jié)果。

智能化數(shù)據(jù)管理與色度分析

系統(tǒng)內(nèi)置強(qiáng)的大的分析軟件，不僅支持光譜反射率測量，還可進(jìn)行色度測量和Lab*色彩分析，通過分光光度法精準(zhǔn)測定物體顏色。測量數(shù)據(jù)可一鍵保存為Microsoft Excel格式，并支持在同一屏幕上疊加顯示多個測量結(jié)果，便于工程師進(jìn)行直觀的對比分析與品質(zhì)管控。整個測量過程非接觸、無損，操作界面人性化，單次測量僅需數(shù)秒至數(shù)十秒。

技術(shù)規(guī)格一覽

典型應(yīng)用場景

憑借上述核心技術(shù)優(yōu)勢，MSP-100系列在多個高精尖領(lǐng)域展現(xiàn)出廣泛的應(yīng)用價值：

• 光學(xué)薄膜檢測：單層/多層鍍膜反射率的精準(zhǔn)測定，以及鍍膜均勻性與不規(guī)則性評估。

• 曲面光學(xué)元件：透鏡、鏡片等曲面元件的反射率與曲率同步測量。

• 超薄材料分析：厚度低至0.2mm的超薄玻璃、晶圓樣品的無損反射率測量。

• 品質(zhì)管控與研發(fā)：材料表面反射率的快速篩選、色度測量與Lab*色彩分析。

該系統(tǒng)廣泛適用于光學(xué)元件制造、鍍膜檢測、玻璃加工、半導(dǎo)體晶圓、薄膜研發(fā)、材料科學(xué)及色度分析等行業(yè)，為工程師和科研人員提供了可靠的數(shù)據(jù)支撐。

總結(jié)與展望

澀谷光學(xué)MSP-100系列反射率測量系統(tǒng)以其專的利的半透鏡技術(shù)、微米級光斑分辨率和卓的越的曲面兼容性，重新定義了精密光學(xué)測量的標(biāo)準(zhǔn)。它不僅解決了超薄、微小、曲面樣品測量的行業(yè)難題，更通過免除背面處理工序，顯著降低了檢測成本與時間。隨著光學(xué)制造向更高精度、更微型化方向發(fā)展，MSP-100系列必將在先進(jìn)材料研發(fā)與精密制造領(lǐng)域發(fā)揮更加關(guān)鍵的作用。

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