晶圓與光罩清洗遇瓶頸？SONOSYS 兆聲技術(shù)實(shí)現(xiàn)“無損去污”與“高效剝離”

更新時(shí)間：2026-08-27

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在半導(dǎo)體制造步入 7nm 乃至更先進(jìn)制程的今天，芯片表面的微觀結(jié)構(gòu)變得之前所沒有的復(fù)雜與脆弱。一粒微小的納米級(jí)顆粒，或是一次不當(dāng)?shù)那逑礇_擊，都可能導(dǎo)致價(jià)值數(shù)萬元的晶圓報(bào)廢。面對(duì)這一挑戰(zhàn)，傳統(tǒng)的超聲波清洗已逼近物理極限。作為兆聲清洗領(lǐng)域的隱形冠的軍的，SONOSYS 憑借 25 年的技術(shù)積淀，正以卓的越的兆聲解決方案，為晶圓清洗、光罩清洗及光刻膠剝離工藝保駕護(hù)航。

一、晶圓清洗：在“強(qiáng)力去污"與“零損傷"間尋找完的美平衡

在先進(jìn)制程中，晶圓表面布滿了極其脆弱的微觀結(jié)構(gòu)。傳統(tǒng)超聲波清洗依靠劇烈的氣泡爆破（強(qiáng)瞬態(tài)空化）來去除污垢，這種“微型炸的彈的"極易導(dǎo)致精細(xì)圖形結(jié)構(gòu)的倒塌或薄膜剝離。

SONOSYS 的兆聲清洗技術(shù)徹的底的改變了這一范式。通過輸出 1 MHz 甚至高達(dá) 5 MHz 的高頻聲波，SONOSYS 系統(tǒng)以溫和而持續(xù)的“聲流效應(yīng)"和“微空化效應(yīng)"為主。這就像是用無數(shù)把納米級(jí)的“軟毛刷"和“微射流"，精準(zhǔn)剝離附著在晶圓表面的亞微米級(jí)顆粒，同時(shí)確保底層脆弱的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)毫發(fā)無損。無論是前道制程的顆粒去除，還是后道 CMP 后的拋光液清洗，SONOSYS 都能提供高度均勻、無盲區(qū)的極的致的潔凈。

二、光罩清洗：守護(hù)光刻精度的“最后一道防線"

光罩（Photomask）是芯片制造的“底片"，其表面的任何微小瑕疵都會(huì)被直接投影到晶圓上。特別是對(duì)于極紫外（EUV）光罩，其清潔度要求達(dá)到了苛刻的原子級(jí)。

SONOSYS 針對(duì)光罩清洗提供了高度定制化的兆聲解決方案。無論是帶圖案的掩模版，還是帶有保護(hù)膜的掩模版，SONOSYS 的兆聲噴嘴或浸沒式換能器都能在不損傷掩模精細(xì)圖形和薄膜的前提下，實(shí)現(xiàn)接近 100% 的顆粒去除率。此外，系統(tǒng)還可用于清洗光罩背面的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，大幅降低因污染導(dǎo)致的光罩重做率，為光刻精度提供堅(jiān)實(shí)保障。

三、剝離輔助：讓光刻膠去除更高效、更溫和

在光刻工藝后，徹的底的去除殘留的光刻膠是保證良率的關(guān)鍵。對(duì)于高深寬比的三維結(jié)構(gòu)，傳統(tǒng)的化學(xué)剝離往往難以滲透到結(jié)構(gòu)深處，且長時(shí)間浸泡化學(xué)藥液可能帶來腐蝕風(fēng)險(xiǎn)。

SONOSYS 的兆聲技術(shù)是剝離工藝的絕的佳的“催化劑"。通過將兆聲能量精準(zhǔn)注入剝離藥液中，兆聲波能夠顯著增強(qiáng)化學(xué)試劑的活性與滲透力，加速光刻膠的溶解與剝離。更重要的是，這種物理與化學(xué)的協(xié)同作用，允許使用更低濃度的化學(xué)品和更短的工藝時(shí)間，不僅大幅提升了剝離效率，還有效避免了因過度反應(yīng)導(dǎo)致的微結(jié)構(gòu)損傷。

四、為什么選擇 SONOSYS？

從 400 kHz 到 5 MHz 的寬頻覆蓋，從單噴嘴、雙噴嘴到定制化的換能器陣列，SONOSYS 提供的不只是一臺(tái)設(shè)備，而是針對(duì)微觀結(jié)構(gòu)清洗的完整解決方案。

極的致的均勻：專的利的聲場(chǎng)設(shè)計(jì)確保晶圓/光罩表面能量分布高度一致，消除清洗盲區(qū)。
無損工藝：專為精密微結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的溫和清洗機(jī)制，完的美的適配 MEMS、LIGA 及先進(jìn)半導(dǎo)體制程。
高度可靠： 25 年行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，全球超過 4500 套系統(tǒng)的成功交付，是技術(shù)實(shí)力的最好證明。

深圳九州工業(yè)品有限公司成立于2016年，坐落于年輕奮進(jìn)的深圳市，是一家工業(yè)品綜合服務(wù)商。主要包括機(jī)電設(shè)備、電子產(chǎn)品、儀器儀表、工業(yè)器材的銷售及其它國內(nèi)貿(mào)易、經(jīng)營進(jìn)出口等業(yè)務(wù)。聯(lián)合國際名品牌搭建工業(yè)品供應(yīng)鏈，采用與 MRO分銷商結(jié)盟的方式，把零散采購訂單集中處理，流程簡(jiǎn)化，提供一站式供應(yīng)服務(wù)。在美國、德國、日本、韓國、中國臺(tái)灣建立采購中心，一的流的專業(yè)各區(qū)域采購團(tuán)隊(duì)、技術(shù)顧問、銷售團(tuán)隊(duì)為各種領(lǐng)域提供各類高品質(zhì)的工業(yè)產(chǎn)品和優(yōu)質(zhì)的整合服務(wù)。通過與廠家建立快捷、有效的溝通，和眾多國外生產(chǎn)廠家建立了長久合作伙伴關(guān)系。

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